基本情報

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津留 俊英

TSURU Toshihide


職名

准教授

専門分野(科研費分類) 【 表示 / 非表示

  • 光工学・光量子科学

  • 薄膜・表面界面物性

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 博士(理学),学習院大学,2001年03月

  • 修士(理学),学習院大学,1997年03月

所属学会・委員会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 日本光学会

 

研究テーマ 【 表示 / 非表示

  • ・光を用いた物性や形状の計測法の研究
    ・超薄膜の精密作製技術の研究

論文 【 表示 / 非表示

  • 「活用力」を育む理科授業の在り方 -白色ダイオードの活用-,平成27年度大学と附属学校園の共同研究報告書,12-13,2016年03月

    単著

  • Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm,Applied Optics,53 6846-6852,2014年10月

    共著

  • 2次元偏光解析による3次元形状計測,表面科学,35 300-305,2014年06月

    共著

  • 「ボン」を「ンボ」で打ち消す,平成25年度大学と附属学校園の共同研究報告書,14,2014年03月

    単著

  • Reflection double slit for multilayer reflection phase measurements,Photon Factory Activity Report 2013 Part B,31 358,2014年01月

    共著

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著書 【 表示 / 非表示

  • EUV光源の開発と応用(共著),(株)シーエムシー出版,2007年01月

総説・解説記事 【 表示 / 非表示

  • 2011年日本光学会の研究動向 偏光計測・制御技術,日本光学会,光学,41 238-240,2012年04月

  • 2010年日本光学会の研究動向 偏光計測・制御技術,日本光学会,光学,40 187-188,2011年04月

  • 軟X線顕微鏡とその基盤技術の開発,X線結像光学研究会,X線結像光学ニューズレター,33 7-9,2011年04月

  • 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測,日本オプトメカトロニクス協会,光技術コンタクト,48 3-11,2010年03月

  • 偏光利用による3次元リアルタイム計測法の開発,日本工業出版,検査技術,15 1-9,2010年01月

工業所有権 【 表示 / 非表示

  • 特許,形状・傾斜検知及び/又は計測光学装置及び方法並びにその関連装置,山本正樹, 津留俊英

    出願番号( 2010-525608 ) 公開番号( WO2010/021148 ) 登録番号( 5751470 ) ,日本国

科研費(文科省・学振)獲得実績 【 表示 / 非表示

  • 基盤研究(C),2013年04月 ~ 継続中,傾斜エリプソメトリーによるその場精密3次元形状計測法の開発

    一般に平面試料に用いられるエリプソメトリーを立体試料に拡張し、物体表面の法線ベクトルを直読する傾斜エリプソメトリー技術を用いた3次元形状計測法の確立と、これを用いた実時間精密3次元形状計測装置の開発を目指す。

  • 若手研究(B),2011年04月 ~ 2013年03月,2次元偏光解析による3次元形状計測法の開発

    エリプソメトリーの原理を用いて物体表面を構成する微斜面の法線ベクトル情報を精密直読し3次元形状を再構築する新規リアルタイム3次元形状計測装置を作製し、各種応用への実用化要件を明らかにすることを目的とした研究。

  • 若手研究(B),2008年04月 ~ 2010年03月,軟X線ブロードバンド多層膜光学素子の非等周期構造設計および精密作製法の開発

    軟X線波長範囲で高反射帯をブロードバンド化した各種光学素子を実用化するために、数値最適化手法を用いたブロードバンド多層膜構造の設計法とブロードバンド多層膜光学素子の作製技術の開発を行った。多層膜の層毎に異なるナノメーター膜厚と場所毎に異なる膜厚分布を精密に制御した非等周期構造が形成できる多層膜成膜装置を構築し、ブロードバンド軟X線多層膜鏡を作製した。また、広い波長領域で使用できる反射型多層膜偏光子と炭素の窓用多層膜鏡の非等周期膜厚構造解を得た。

  • 若手研究(B),2004年04月 ~ 2006年03月,ピコメーター膜厚検出感度を持つ成膜モニターの開発と水の窓軟X線多層膜反射鏡の作製

    周期長数nmの軟X線反射多層膜鏡の周期膜厚を精密に所定の膜厚に制御するために、成膜過程を高感度でその場計測出来る成膜モニターを開発した。200ミリ秒の計測間隔でピコメートルの膜厚感度を持つ高速自動消光エリプソメーターとその制御ソフトウエアを設計・作製し、成膜モニターとして実用化した。

  • 特別推進研究,2003年04月 ~ 2007年03月,レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

    光学顕微鏡の解像度は光源の波長に比例する。本研究では、波長13.5nmの軟Ⅹ線を反射できるnm周期多層膜ミラーで精密反射光学系を製作して、レーザープラズマ軟Ⅹ線パルスを光源とする50nm解像の“明るい”透過型光学顕微鏡を開発し、世界初の1ショット撮像に成功した。軟X線は、電子に比べて桁違いに物質を通りやすく、非破壊で観察できる。電子顕微鏡では不可能な生体細胞の内部観察など種々の未踏の領域の観測が期待される。

その他競争的資金獲得実績 【 表示 / 非表示

  • JST先端計測分析技術・機器開発事業,2008年10月 ~ 2012年03月,軟X線多層膜鏡の1Å精度波面補正技術の開発

    回折限界性能の軟X線多層膜精密結像鏡を実用化する新技術として、反射波面誤差を1Å精度で補正できるイオンミリング波面補正技術を確立することを目的した研究。

    科学技術振興機構

研究発表 【 表示 / 非表示

  • 第76回応用物理学会秋季学術講演会,国内会議,2015年09月,名古屋国際会議場,4検出器型偏光計の高精度化と高速化,口頭(一般)

  • 第10回博物科学会,国内会議,2015年06月,金沢大学自然科学本館ファカルティーホール,簡便な3Dデータ作成方法を用いた教育普及事業「一日山大生になろう」について,ポスター(一般)

  • 2014年偏光懇談会「偏光計測と標準化」,国内会議,2014年12月,東京都立産業技術研究センター,4検出器法による液晶可変リターダーの光学特性評価,口頭(一般)

  • 2014年応用物理学会東北支部第69回学術講演会,国内会議,2014年12月,東北大学工学部青葉記念会館,4検出器法による高速偏光計測システムの開発,口頭(一般)

  • 2014年応用物理学会東北支部第69回学術講演会,国内会議,2014年12月,東北大学工学部青葉記念会館,液晶可変リターダーの光学特性評価,口頭(一般)

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担当授業科目 【 表示 / 非表示

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学外での活動(高大・地域連携等) 【 表示 / 非表示

  • 山形市小学校教育研究会理科部会研修会,2013年11月

  • 家族で考える理科教室(物理学分野),2013年10月

  • 教員免許状更新講習(物理学分野),2013年08月

  • 応用物理学会東北支部リフレッシュ理科教室,2011年08月

  • 企業向け技術セミナー,2006年10月

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相談に応じられる分野 【 表示 / 非表示

  • 物理教材開発

  • 薄膜作製技術

  • 光計測技術