2023/11/21 更新

写真a

ツル　トシヒデ
津留　俊英
TSURU Toshihide
職名
教授

研究分野

  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学

  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性

取得学位

  • 博士(理学)，学習院大学，2001年03月

  • 修士(理学)，学習院大学，1997年03月

所属学会・委員会

  • 応用物理学会

  • 応用物理学会 フォトニクス分科会

  • 日本光学会

  • 日本光学会 偏光計測・制御技術研究グループ

 

研究テーマ

  • ・光を用いた物性や形状の計測法の研究
    ・超薄膜の精密作製技術の研究

論文

  • 円偏光を用いた波長板の光学特性評価と3次元形状計測，光学，52(5) 197-202，2023年05月

    津留　俊英

    単著

  • ピンホールの製作とこれを用いた光の回折実験，山形大学 教職・教育実践研究，(18) 87-94，2023年03月

    瀬谷 匡史, 津留 俊英

    共著（国内のみ）

  • 偏光色の分光計測と偏光教材への応用，山形大学教職・教育実践研究，(15) 11-18，2020年03月

    石川 ひかり, 津留 俊英

    共著（国内のみ）

  • 資格認証制度を活用した小学校教員の質保証 -「理科マイスター」教育プログラムの実践を通して-，山形大学教職・教育実践研究，(15) 29-36，2020年03月

    鈴木 宏昭, 加藤 良一, 大友 幸子, 今村 哲史, 津留 俊英, 山科 勝, 後藤 みな

    共著（国内のみ）

  • 傾斜エリプソメトリーとその応用，光アライアンス，29 31-35，2018年04月

    津留俊英

    単著

  • Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes，J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.，220 14-16，2017年01月

    T. Hatano, T. Ejima, T. Tsuru

    共著（海外含む）

  • Multilayer coated grazing incidence condenser for large numerical aperture objective at wavelength of 4.5 nm，Applied Optics，53 6846-6852，2014年10月

    T. Ejima, T. Hatano, K. Ohno, T. Fukayama, S. Aihara, M. Yanagihara, T. Tsuru

    共著（海外含む）

  • 2次元偏光解析による3次元形状計測，表面科学，35 300-305，2014年06月

    津留俊英, 山本治美, 松川裕章

    共著（国内のみ）

  • Reflection double slit for multilayer reflection phase measurements，Photon Factory Activity Report 2013 Part B，31 358，2014年01月

    T. Hatano, T. Tsuru

    共著（海外含む）

  • Performance of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D of the Photon Factory，J. Phys.: Conf. Ser.，463 012010-4，2013年10月

    T. Hatano, S. Aihara, K. Uchida and T. Tsuru

    共著（海外含む）

  • Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction，J. Phys.: Conf. Ser.，425 152009-4，2013年03月

    T. Tsuru, K. Arai and T. Hatano

    共著（海外含む）

  • Tilt-ellipsometry of object surface by specular reflection for three-dimensional shape measurement，Opt. Express，21(5) 6625-6632，2013年03月

    Toshihide Tsuru

    単著

  • Multilayer reflectance loss after ion milling，Photon Factory Activity Report 2012 Part B，30 363，2013年01月

    Y. Sakai, T. Tsuru, T. Harada, T. Hatano

    共著（海外含む）

  • Development of an automatic null ellipsometer for sputtering rate monitoring of EUV multilayer fabrication，Photon Factory Activity Report 2010 Part B，28 309，2012年01月

    T. Tsuru, T. Tsutou, T. Hatano and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Three-dimensionally controlled ion milling for reflection phase manipulation of EUV multilayer mirrors，AIP Conf. Proc.，1365 180-183，2011年10月

    T. Tsuru, T. Hatano, M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Development of spectroscopic transmission-type four detector polarimeter，Thin Solid Films，519 2707-2710，2011年02月

    T. Tsuru, Y. Kubota, T. Tadokoro, S. Kawabata

    共著（海外含む）

  • Development of wide ion beam profile measurement method for a period-by-period extreme ultraviolet multilayer milling system，Jpn. J. Appl. Phys.，49 126601-1-7，2010年12月

    A. Tosaka, Y. Sakai, T. Tsuru, M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Area-selected ion milling for reflection wavefront error correction of soft X-ray multilayer mirrors，AIP Conf. Proc.，1234 772-775，2010年09月

    T. Tsuru, Y. Sakai, T. Hatano and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発，放射光，23 181-187，2010年05月

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹

    共著（国内のみ）

  • 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発，光学，39 219-224，2010年05月

    津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美広, 山本正樹

    共著（国内のみ）

  • 反射波面補正のためにイオンミリングした軟X線多層膜鏡の評価，J. Vac. Soc. Jpn.，53 368-370，2010年03月

    梅津裕生, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    共著（国内のみ）

  • High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms，Opt. Express，18 7203-7209，2010年03月

    T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara

    共著（海外含む）

  • Development of a period-by-period EUV multilayer milling system for the final nm figure error correction by 0.1 nm per period，J. Phys.: Conf. Ser. (IOP)，186 012077-3，2009年09月

    T. Tsuru, A. Tosaka, Y. Sakai and M.Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering，Vacuum，84 19-25，2009年08月

    P. Siffalovic, E. Majkova, L. Chitu, M. Jergel, S. Luby, J. Keckes, G. Maier, A. Timmann, S.V. Roth, T. Tsuru, T. Harada, M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • 正反射による物体表面の傾斜エリプソメトリー-精密実時間形状計測への基本概念-，光学，38 204-212，2009年04月

    山本正樹, 津留俊英

    共著（国内のみ）

  • Multilayer polarization elements and their applications to polarimetric studies in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions，Nuc. Sci. Tech.，19 193-203，2008年08月

    M. Watanabe, T. Hatano, K. Saito, W. Hu, T. Ejima, T. Tsuru, M. Takahashi, H. Kimura, T. Hirono, Z. Wang, M. Cui, M. Yamamoto, M. Yanagihara

    共著（海外含む）

  • Multi-bits coding by multi-directional valley pits permitting stamper mass-production and remote direction readout by polarization reflection，Opt. Express，16 9622-9627，2008年06月

    T. Tsuru, M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Precise determination of layer structure with EUV ellipsometry data obtained by multilayer polarizing elements，Phys. Stat. Sol. (c)，5 1129-1132，2008年05月

    T. Tsuru and M.Yamamoto

    共著（海外含む）

  • 軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用いたミリング装置の開発，J. Vac. Soc. Jpn.，51 115-117，2008年03月

    戸坂亜希, 酒井優, 津留俊英, 山本正樹

    共著（国内のみ）

  • Advanced nanometer-size structures,Design and in-situ fabrication control of X-EUV mirrors，Acta Phys. Slov.，57 911-1074，2007年12月

    E. Majkova, M. Jergel, M. Yamamoto, T. Tsuru, S. Luby, P. Siffalovi

    共著（海外含む）

  • Compact ellipsometer employing a static polarimeter module with arrayed polarizer and wave-plate elements，Appl. Opt.，46 4963-4967，2007年08月

    T. Sato, T. Araki, Y. Sasaki, T. Tsuru, T. Tadokoro, S. Kawakami

    共著（海外含む）

  • Reflection Passband Broadening by Aperiodic Designs of EUV/Soft X-ray Multilayers，AIP, Conf. Proc.，879 1524-1527，2007年01月

    T. Tsuru

    単著

  • In-situ ellipsometric monitor with layer-by-layer analysis for precise thickness control of EUV multilayer optics，Thin Solid Films，515 947-951，2006年11月

    T. Tsuru and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Investigation of soft X-ray multilayer mirror mabrication by an in-situ ellipsometric deposition monitor，IPAP Conference Series，7 168-170，2006年07月

    T. Tsuru, T. Harada and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry，J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom.，144-147 1083-1085，2005年06月

    T. Tsuru, T. Tsutou, T. Hatano and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Schwarzschild microscope in vacuum ultraviolet and soft X-ray regions，Nuc. Sci. Tech. ，16 129-138，2005年06月

    M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Realtime layer-by-layer analysis for multilayer fabrication monitoring by an automatic null ellipsometer，Thin Solid Films，455-456 705-709，2004年05月

    T. Tsuru, T. Tsutou and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Normal incidence reflectometry of concave multilayer mirrors using synchrotron radiation to evaluate the period thickness distribution，AIP Conf. Proc.，705 839-842，2004年05月

    T. Hatano, S. Kubota, Y. Adachi, T. Tsuru and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry，AIP Conf. Proc.，705 732-735，2004年05月

    T. Tsuru, T. Tsutou, T. Hatano and M. Yamamoto

    共著（海外含む）

  • Nanopipes in undoped AlGaN epilayers，J. Cryst. Growth，229 58-62，2001年07月

    J. Kang, S. Tsunekawa, B. Shen, Z. Mai, C. Wang, T. Tsuru and A. Kasuya

    共著（海外含む）

  • Measurement of stress near dislocation walls in a ZnSe single crystal by Raman scattering tomography，Jpn. J. Appl. Phys.，39 5977-5980，2000年10月

    T. Tsuru, K. Sakai, M. Ma and T. Ogawa

    共著（海外含む）

  • Study on defects in CZ-Si crystals grown by normal, cusp magnetic field and electromagnetic field techniques using multi-chroic infrared light scattering tomography，J. Cryst. Growth，218 232-238，2000年09月

    M. Ma, T. Irisawa, T. Tsuru, T. Ogawa, M. Watanabe and M. Eguchi

    共著（海外含む）

  • Defects in flux and Czochralski grown β-BaB2O4 crystals observed by light scattering tomography，J. Cryst. Growth，216 352-358，2000年06月

    T. Tsuru and T. Ogawa

    共著（海外含む）

  • 光散乱法による非線形光学結晶の評価，応用物理，69 563-564，2000年05月

    津留俊英

    単著

  • Relation between light scattered intensity and Raman shift in neighborhood of dislocation walls in ZnSe crystals，J. Cryst. Growth，210 234-237，2000年03月

    Y. Yukawa, T. Tsuru, K. Sakai and T. Ogawa

    共著（海外含む）

  • Observation of defects in a C3N4/Diamond/Si structure by infrared light scattering tomography，J. Phys. Condens. Matter.，11 L191-L197，1999年05月

    M. Ma, T. Tsuru, T. Ogawa and Z. Mai

    共著（海外含む）

  • Defects observed by a highly intensified laser beam and growth rate of light scattering tomographic defects at 1000℃，Proc. of the 3rd Symp. on Atomic-scale Surface and Interface Dynamics，205-209，1999年03月

    T. Ogawa, M. Ma, N. Nango, K. Shinoki and T. Tsuru

    共著（海外含む）

  • Thermal treatment of ZnSe crystals studied by light scattering and photoluminescence tomography，Inst. Phys. Conf Ser.，149 103-107，1996年05月

    T. Tsuru and T. Ogawa

    共著（海外含む）

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著書

  • 図説 表面分析ハンドブック，朝倉書店，2021年06月

    近藤 剛弘, 津留 俊英

  • 新しい科学(1年)，東京書籍，2020年03月

    梶田　隆章, 津留　俊英　他

  • 新しい科学(3年)，東京書籍，2020年03月

    梶田　隆章, 津留　俊英　他

  • 新しい科学(2年)，東京書籍，2020年03月

    梶田　隆章, 津留　俊英　他

  • Compendium of Surface and Interface Analysis，Springer, Singapore，2018年02月

    Toshihide Tsuru et al., The Surface Science Society of Japan ed.

  • EUV光源の開発と応用(共著)，(株)シーエムシー出版，2007年01月

    山本正樹，羽多野忠，津留俊英

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総説・解説記事

  • 次期中学校学習指導要領(理科)への対応 -白色光のプリズム分光-，山形大学，平成30年度大学と附属学校園の共同研究報告書，15-18，2019年03月

    津留俊英

  • 「活用力」を育む理科授業の在り方 -白色ダイオードの活用-，山形大学，平成27年度大学と附属学校園の共同研究報告書，12-13，2016年03月

    津留俊英

  • 「ボン」を「ンボ」で打ち消す，山形大学，平成25年度大学と附属学校園の共同研究報告書，14，2014年03月

    津留俊英

  • 論理的思考力を育む理科授業の在り方，山形大学，平成24年度大学と附属学校園の共同研究報告書，14，2013年03月

    津留俊英

  • 2011年日本光学会の研究動向　偏光計測・制御技術，日本光学会，光学，41 238-240，2012年04月

    川畑州一, 水谷康弘, 若山俊隆, 大谷幸利, 津留俊英, 金蓮花, 喜入朋宏

  • 2010年日本光学会の研究動向　偏光計測・制御技術，日本光学会，光学，40 187-188，2011年04月

    川畑州一, 安田哲二, 津留俊英, 水谷康弘, 若山俊隆, 金蓮花, 喜入朋宏, 大谷幸利

  • 軟Ｘ線顕微鏡とその基盤技術の開発，X線結像光学研究会，X線結像光学ニューズレター，33 7-9，2011年04月

    江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀, 柳原美廣

  • 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測，日本オプトメカトロニクス協会，光技術コンタクト，48 3-11，2010年03月

    津留俊英, 山本正樹

  • 偏光利用による3次元リアルタイム計測法の開発，日本工業出版，検査技術，15 1-9，2010年01月

    山本正樹, 津留俊英

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工業所有権

  • 特許，形状・傾斜検知及び／又は計測光学装置及び方法並びにその関連装置，山本正樹, 津留俊英

    出願番号（ 2010-525608 ） 登録番号（ 5751470 ） ，日本国

その他研究活動

  • 平成30年度文部科学省委託事業　教員の養成・採用・研修の一体的改革推進事業「「理科マイスター」資格認証制度を活用した教員の専門的資質・能力を育成するための教員養成・研修システムの構築」成果報告書

    その他

  • 公益財団法人やまがた教育振興財団　平成30年度教員養成に関する調査研究事業「プログラミング教育の実態調査と小学校教員養成課程における教育プログラムの開発」研究成果報告書

    その他

  • 公益財団法人やまがた教育振興財団　平成29-30年度教員養成に関する調査研究事業「小学校理科実験の安全確保に関する調査研究」研究成果報告書

    その他

学術関係受賞

  • 科学技術分野の文部科学大臣表彰 科学技術賞(理解増進部門)，2017年04月，日本国，文部科学省，栗山恭直, 木島龍朗, 遠藤龍介, 渡邉明彦, 津留俊英

  • 平成28年度山形大学優秀教育者賞表彰，2016年12月，日本国，山形大学，津留俊英

科研費（文科省・学振）獲得実績

  • 挑戦的萌芽研究，2016年04月 ～ 2019年03月，顕微偏光解析による高精度屈折率計測法の開発とそのテフロクロノロジーへの応用

  • 基盤研究(C)，2013年04月 ～ 2016年03月，傾斜エリプソメトリーによるその場精密3次元形状計測法の開発

    一般に平面試料に用いられるエリプソメトリーを立体試料に拡張し、物体表面の法線ベクトルを直読する傾斜エリプソメトリー技術を用いた3次元形状計測法の確立と、これを用いた実時間精密3次元形状計測装置の開発を目指す。

  • 若手研究(B)，2011年04月 ～ 2013年03月，2次元偏光解析による3次元形状計測法の開発

    エリプソメトリーの原理を用いて物体表面を構成する微斜面の法線ベクトル情報を精密直読し3次元形状を再構築する新規リアルタイム3次元形状計測装置を作製し、各種応用への実用化要件を明らかにすることを目的とした研究。

  • 若手研究(B)，2008年04月 ～ 2010年03月，軟X線ブロードバンド多層膜光学素子の非等周期構造設計および精密作製法の開発

    軟X線波長範囲で高反射帯をブロードバンド化した各種光学素子を実用化するために、数値最適化手法を用いたブロードバンド多層膜構造の設計法とブロードバンド多層膜光学素子の作製技術の開発を行った。多層膜の層毎に異なるナノメーター膜厚と場所毎に異なる膜厚分布を精密に制御した非等周期構造が形成できる多層膜成膜装置を構築し、ブロードバンド軟X線多層膜鏡を作製した。また、広い波長領域で使用できる反射型多層膜偏光子と炭素の窓用多層膜鏡の非等周期膜厚構造解を得た。

  • 若手研究(B)，2004年04月 ～ 2006年03月，ピコメーター膜厚検出感度を持つ成膜モニターの開発と水の窓軟X線多層膜反射鏡の作製

    周期長数nmの軟Ｘ線反射多層膜鏡の周期膜厚を精密に所定の膜厚に制御するために、成膜過程を高感度でその場計測出来る成膜モニターを開発した。200ミリ秒の計測間隔でピコメートルの膜厚感度を持つ高速自動消光エリプソメーターとその制御ソフトウエアを設計・作製し、成膜モニターとして実用化した。

  • 特別推進研究，2003年04月 ～ 2007年03月，レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

    光学顕微鏡の解像度は光源の波長に比例する。本研究では、波長13.5nmの軟Ⅹ線を反射できるnm周期多層膜ミラーで精密反射光学系を製作して、レーザープラズマ軟Ⅹ線パルスを光源とする50nm解像の“明るい”透過型光学顕微鏡を開発し、世界初の1ショット撮像に成功した。軟Ｘ線は、電子に比べて桁違いに物質を通りやすく、非破壊で観察できる。電子顕微鏡では不可能な生体細胞の内部観察など種々の未踏の領域の観測が期待される。

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その他競争的資金獲得実績

  • JST先端計測分析技術・機器開発事業，2008年10月 ～ 2012年03月，軟X線多層膜鏡の1Å精度波面補正技術の開発

    回折限界性能の軟X線多層膜精密結像鏡を実用化する新技術として、反射波面誤差を1Å精度で補正できるイオンミリング波面補正技術を確立することを目的した研究。

    科学技術振興機構

受託研究受入実績

  • 微小領域の高精度屈折率計測が可能な顕微偏光解析装置の試作，2020年04月 ～ 2021年03月，一般財団法人教友会，その他

  • 平成30年度文部科学省委託事業　教員の養成・採用・研修の一体的改革推進事業「「理科マイスター」資格認証制度を活用した教員の専門的資質・能力を育成するための教員養成・研修システムの構築」，2018年08月 ～ 2019年03月，一般受託研究

  • プログラミング教育の実態調査と小学校教員養成課程における教育プログラムの開発，2018年04月 ～ 2019年03月，公益財団法人やまがた教育振興財団，一般受託研究

  • 4検出器法による超高速偏光計の開発，2013年04月 ～ 2014年03月，公益財団法人双葉電子記念財団平成25年度自然科学研究助成，一般受託研究

研究発表

  • 公益財団法人やまがた教育振興財団　平成30年度教員養成に関する調査研究事業調査研究報告会，国内会議，2019年06月，プログラミング教育の実態調査と小学校教員養成課程における教育プログラムの開発，口頭発表（一般）

  • 第79回応用物理学会秋季学術講演会，国内会議，2018年09月，名古屋国際会議場，顕微偏光解析法による高精度屈折率計測，口頭発表（一般）

  • 日本理科教育学会第56回東北支部大会，国内会議，2017年11月，山形大学，分散と散乱を利用した旋光の可視化，口頭発表（一般）

  • 第78回応用物理学会秋季学術講演会，国内会議，2017年09月，福岡国際会議場，微小試料の高精度屈折率計測のための顕微偏光解析装置の開発，口頭発表（一般）

  • 第64回応用物理学会春季学術講演会，国内会議，2017年03月，パシフィコ横浜，旋光の可視化，ポスター発表

  • Optics & Photonics Japan 2016，国内会議，2016年11月，筑波大学東京キャンパス文京校舎，偏光技術による可視化，口頭発表（一般）

  • 第63回応用物理学会春季学術講演会，国際会議，2016年03月，東工大，エリプソメトリーによる3次元形状計測のための偏光照明法，口頭発表（一般）

  • 第11回偏光計測研究会，国内会議，2015年12月，株式会社フォトロン，EUV用偏光光学素子の開発と応用，口頭発表（一般）

  • 第76回応用物理学会秋季学術講演会，国内会議，2015年09月，名古屋国際会議場，4検出器型偏光計の高精度化と高速化，口頭発表（一般）

  • 第10回博物科学会，国内会議，2015年06月，金沢大学自然科学本館ファカルティーホール，簡便な3Dデータ作成方法を用いた教育普及事業「一日山大生になろう」について，ポスター発表

  • 2014年偏光懇談会「偏光計測と標準化」，国内会議，2014年12月，東京都立産業技術研究センター，4検出器法による液晶可変リターダーの光学特性評価，口頭発表（一般）

  • 2014年応用物理学会東北支部第69回学術講演会，国内会議，2014年12月，東北大学工学部青葉記念会館，4検出器法による高速偏光計測システムの開発，口頭発表（一般）

  • 2014年応用物理学会東北支部第69回学術講演会，国内会議，2014年12月，東北大学工学部青葉記念会館，液晶可変リターダーの光学特性評価，口頭発表（一般）

  • 第64次山形地区教育研究合同集会，国内会議，2014年10月，山形市立第四中学校，光による三次元形状計測，口頭発表（一般）

  • 第75回応用物理学会秋季学術講演会，国内会議，2014年09月，北海道大学札幌キャンパス，振幅分割型ポラリメーターによる液晶可変リターダーの評価，口頭発表（一般）

  • 山形市小学校教育研究会理科部会，国内会議，2013年11月，山形市みはらしの丘小学校，偏光で色付く不思議な世界，口頭発表（一般）

  • The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry，国際会議，2013年05月，Kyoto Research Park in Kyoto，Three-dimensional shape measurement of a glossy object by imaging ellipsometry，ポスター発表

  • 第73回応用物理学会学術講演会，国内会議，2012年09月，愛媛大学・松山大学，液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測，口頭発表（一般）

  • The 11th The international Conference on X-ray microscopy (XRM)，国際会議，2012年08月，Shanghai, China，Performance test of the post-focusing mirror system at the reflectometry beamline BL-11D, PF，ポスター発表

  • The 11th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation，国際会議，2012年07月，Lyon, France，Homogenized ion milling over the whole area of EUV spherical multilayer mirrors for reflection phase error correction，ポスター発表

  • 第8回偏光計測研究会，国内会議，2012年06月，堀場製作所 東京セールスオフィス，High-speed透過型Four Detector Polarimeterの開発，口頭発表（一般）

  • 第59回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2012年03月，早稲田大学，PF BL-11D 後置集光鏡システムの集光性能評価，口頭発表（一般）

  • 第59回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2012年03月，早稲田大学，傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測，口頭発表（一般）

  • 第7回偏光計測研究会，国際会議，2011年11月，東京工芸大学，偏光イメージングのものづくり現場への応用，口頭発表（一般）

  • 第11回X線結像光学シンポジウム，国内会議，2011年11月，東北大学，極端紫外結像素子の光学検査に使用可能な汎用極端紫外実験装置，口頭発表（一般）

  • 第11回X線結像光学シンポジウム，国内会議，2011年11月，東北大学，軟X線多層膜曲面鏡の全面一括イオンミリング波面補正技術の開発，口頭発表（一般）

  • 第11回X線結像光学シンポジウム，国内会議，2011年11月，東北大学，炭素の窓多層膜顕微鏡に用いる高スループット多層膜の開発，口頭発表（一般）

  • 宇都宮大学オプティクス教育研究セミナー，国内会議，2011年10月，宇都宮大学，軟X線多層膜光学素子開発とエリプソメトリー，公開講演，セミナー，チュートリアル，講習，講義等

  • 第58回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2011年03月，神奈川工科大学，開口角可変式マスクによる軟X線多層膜曲面鏡上のイオンミリング速度分布制御，口頭発表（一般）

  • 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2010，国内会議，2010年11月，中央大学駿河台記念館，透過型分光Four Detector Polarimeter，口頭発表（一般）

  • 日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2010，国内会議，2010年11月，中央大学駿河台記念館，その場偏光解析によるnm周期軟X線多層膜成膜のピコメーター感度モニタリング，口頭発表（一般）

  • 第71回応用物理学会学術講演会，国内会議，2010年09月，長崎大学，振幅分割型分光ポラリメーターの入射偏光特性評価，口頭発表（一般）

  • 第71回応用物理学会学術講演会，国内会議，2010年09月，長崎大学，波面補正のための軟Ｘ線多層膜曲面鏡のイオンミリング速度分布計測，口頭発表（一般）

  • 第71回応用物理学会学術講演会，国内会議，2010年09月，長崎大学，多層膜ミラーの周期数による反射位相制御，口頭発表（一般）

  • 2010年日本液晶学会討論会，国内会議，2010年09月，福岡，振幅分割型ポラリメーターの分光偏光計測への応用，ポスター発表

  • The 10th international conference on x-ray microscopy(XRM)，国際会議，2010年08月，Chicago, USA，Three dimensionally controlled ion milling for reflection phase manipulation of EUV multilayer mirrors，ポスター発表

  • The 10th international conference on x-ray microscopy(XRM)，国際会議，2010年08月，Chicago, USA，Super‐Hierarchical" Microscope in EUV Region，ポスター発表

  • The 10th international conference on x-ray microscopy(XRM)，国際会議，2010年08月，Chicago, USA，Development of Wide Field of View EUV Microscope Using Normal‐Incident Multilayer Optics with LPP Light Source，ポスター発表

  • 偏光計測・制御技術研究グループ設立記念シンポジウム，国内会議，2010年07月，学習院創立百周年記念会館，エリプソメトリーによる3次元形状計測，口頭発表（一般）

  • The 37th Internatinal Conference on Vacuum UltraViolet and X-ray Physics，国際会議，2010年07月，Vancouver, Canada，Young’s interferometer at 90 eV with a versatile VUV apparatus，ポスター発表

  • 第3回東北大学光科学技術フォーラム，国内会議，2010年06月，仙台，エリプソメトリーによる3次元形状計測，口頭発表（一般）

  • 5th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry，国際会議，2010年05月，Albany, USA，Development of the spectroscopic four detector polarimeter of transmission type，ポスター発表

  • 日本物理学会第65回年次大会，国内会議，2010年03月，岡山大学，Magnetic Response of Stratified Metal-Dielectric Metamaterials in Optical Regime: Effect of layer thickness fluctuation，口頭発表（一般）

  • 第57回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2010年03月，東海大学，軟X線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測用密着ダブルスリット付きミリング多層膜の作製，口頭発表（一般）

  • 第57回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2010年03月，東海大学，放射光を用いた軟Ｘ線多層膜ミラー位相操作効果の干渉計測，口頭発表（一般）

  • 第57回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2010年03月，東海大学，分光透過型Four Detector Polarimeterの開発，口頭発表（一般）

  • 第57回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2010年03月，東海大学，汎用軟X線実験装置を用いたヤングの干渉縞観測，口頭発表（一般）

  • 第57回応用物理学関係連合講演会，国内会議，2010年03月，東海大学，軟Ｘ線多層膜曲面鏡のミリング深さ計測，口頭発表（一般）

  • 東北大学通研共同プロジェクト研究会，国内会議，2010年03月，東北大学，エリプソメトリーによる高精度三次元形状計測法の開発，口頭発表（一般）

  • The 10th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures，国際会議，2010年02月，Montana, USA，EUV interferometry on multilayer reflection phase manipulation by surface milling，口頭発表（一般）

  • The 10th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures，国際会議，2010年02月，Montana, USA，GISAXS – a versatile inspection technique for multilayer interfaces，口頭発表（一般）

  • 第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，国内会議，2010年01月，姫路，反射配置のヤングの干渉計による極紫外多層膜ミラーの位相操作効果の計測，口頭発表（一般）

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担当授業科目

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学会・委員会等活動

  • 応用物理学会 分科会 日本光学会 偏光計測・制御技術研究グループ，運営委員，2010年04月 ～ 2014年09月

  • 日本光学会 偏光計測・制御技術研究グループ，運営委員，2014年12月 ～ 継続中

  • 応用物理学会，プログラム編集委員，2019年04月 ～ 継続中

社会貢献活動

  • 山形県サイエンスフォーラム審査委員，2016年12月 ～ 継続中

  • 第64次山形地区教育研究合同集会講師，2014年10月

  • 山形市小学校教育研究会理科部会研修会講師，2013年11月

  • 家族で考える理科教室(物理学分野)，2013年10月

  • 教員免許状更新講習(物理学分野)，2013年08月 ～ 継続中

  • 応用物理学会東北支部リフレッシュ理科教室，2011年08月

  • 企業向け技術セミナー，2006年10月

  • 夏休み大学探検講師，2004年07月

  • 夏休み大学探検講師，2003年07月

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学術貢献活動

  • 山形県高等学校文化連盟科学専門部研究発表会審査員，2021年01月

  • 山形県高等学校探究型学習課題研究発表会審査員，2020年12月

  • 山形県立山形東高等学校山東探究塾Ⅱ課題研究審査員，2019年07月 ～ 継続中

  • 山形県立東桜学館高等学校課題研究発表会審査員，2019年07月 ～ 2020年03月

  • 山形市理科教育センター運営委員，2017年04月 ～ 継続中

  • 科学の甲子園ジュニア山形県大会実行委員，2014年07月 ～ 継続中

  • 科学の甲子園山形県大会実行委員，2014年07月 ～ 継続中

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相談に応じられる分野

  • 物理教材開発

  • 薄膜作製技術

  • 光計測技術