2023/12/01 更新

写真a

ミネタ タカシ
峯田 貴
MINETA Takashi
職名
教授

研究分野

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  • ライフサイエンス / 生体医工学

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム

  • ライフサイエンス / 生体材料学

  • ライフサイエンス / 生体医工学

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム

  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

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取得学位

  • 博士(工学),東北大学,2002年03月

所属学会・委員会

  • 電気学会

  • 表面技術協会

  • 生体医工学会

  • 日本機械学会

  • 日本MRS

  • 応用物理学会

  • 応用物理学会

  • 表面技術協会

  • 電気学会

  • 生体医工学会

  • 日本機械学会

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研究テーマ

  • 超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)デバイス開発に取り組んでいます。血管内で操作するマイクロマニピュレータ等の医療分野への応用や、生体高分子を捕捉して機械的な操作を加えるナノツールなどのバイオ分野への応用に力を入れています。また、これらのデバイス実現に不可欠な、超微細パターン形成、アクチュエータ材料の薄膜・厚膜形成、エッチングによる微細加工など、マイクロ・ナノスケールでの形成プロセス開発に取り組んでいます。

論文

  • Fabrication of Tactile Display Mechanism Using Arrayed SMA Thick Film Actuator and Si TSV Layer with Individually Connecting Diode(特集 第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文),電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),141(7) 260-264,2021年

    Saito Ryo, Kimura Yusuke, Xu Jiale, Mineta Takashi

    単著

  • Fabrication Process of Embedded Silicon Microchannel and Nozzle Structure for Liquid-delivering Atomic Force Microscopy Probe ,SENSORS AND MATERIALS,31(2) 595-605,2019年

    Hong Jinseo, Masuda Yusuke, Miura Yoshitaka, Shibata Takayuki, Mineta Takashi

    共著(国内のみ)

  • Micro-Robotic Medical Tools Employing SMA Actuators for Use in the Human Body,JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS,34(6) 1233-1244,2022年12月

    Haga Yoichi, Mineta Takashi, Matsunaga Tadao, Tsuruoka Noriko

    単著

  • バイオミメティクスを指向したMEMS多段フィン微細構造の形成と Ni電鋳マイクロ金型および樹脂への形状転写手法の開発,第38回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,10P3-SSP-58-1-10P3-SSP-58-4,2021年11月

    矢作徹, 山田直也, 加藤睦人, 渡部 善幸, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成,第38回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,10A3-SS2-3-1-10A3-SS2-3-4,2021年11月

    佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Fabrication of Tactile Display Using Arrayed SMA Film Actuator on Silicon TSV Substrate with Individually Conducting Diode,Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS),2021-January 709-711,2021年01月

    Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta

    単著

  • 構造色呈色を目指したMEMS微細多段フィン構造を型に用いた樹脂材料への熱インプリント転写と離型特性評価,表面技術,72(3) 170-175,2021年

    矢作 徹, 山田 直也, 村山 裕紀, 加藤 睦人, 渡部 善幸, 伊藤 浩志, 峯田 貴

    単著

  • 個別通電用Siダイオードを搭載したTSV基板とSMA厚膜アクチュエータを接合したアレイ型触覚ディスプレイの形成,第37回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,26P3-SS1-4-1-26P3-SS1-4-4,2020年10月

    斎藤涼,木村 友翼,徐嘉楽,峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 円筒面上の厚膜レジストリソグラフィとNi電鋳を用いた能動カテーテルの外骨格型バイアス機構の一括形成,第37回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,26P2-SS1-3-1-26P2-SS1-3-3,2020年10月

    (14) Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi, 峯⽥ 貴

    共著(国内のみ)

  • Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process,JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,59(SI) ,2020年06月

    Yahagi T., Murayama H., Watanabe Y., Mineta T.

    共著(国内のみ)

  • Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display,MICROELECTRONIC ENGINEERING,227 ,2020年04月

    Xu Jiale, Kimura Yusuke, Tsuji Kazuki, Abe Konomu, Shimizu Tomomi, Hasegawa Hiroyasu, Mineta Takashi

    共著(国内のみ)

  • PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process,JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS,32(2) 289-296,2020年04月

    Mitsui Hideyuki, Kashiwazaki Hiroshi, Mineta Takashi

    共著(国内のみ)

  • 国際会議報告:45th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),140(1) NL1_1,2020年01月

    峯田 貴

    単著

  • 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム受賞論文特集号によせて,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),140(7) 150-151,2020年

    鈴木 博章, 峯田 貴

    単著

  • 個別通電用Siダイオードを搭載したTSV電極Si層とSMA厚膜アクチュエータアレイをもつ触覚ディスプレイの形成,年次大会,2020(0) J13116,2020年

    齋藤 涼, 木村 友翼, 徐 嘉楽, 峯田 貴

    単著

  • Special Issue on MEMS for Robotics and Mechatronics,Journal of Robotics and Mechatronics,32(2) 279-280,2020年

    Esashi Masayoshi, Tanaka Shuji, Aoyagi Seiji, Mineta Takashi, Suzumori Koichi, Dohi Tetsuji, Miki Norihisa

    単著

  • PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process,Journal of Robotics and Mechatronics,32(2) 289-296,2020年

    Mitsui Hideyuki, Kashiwazaki Hiroshi, Mineta Takashi

    単著

  • 貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,21pm1-PS3-49-1-21pm1-PS3-49-4,2019年11月

    木村 友翼, 丸山 顕, 徐 嘉楽, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成および特性評価,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,19pm5-PS3-26-1-19pm5-PS3-26-4,2019年11月

    徐 嘉楽, 木村 友翼, 辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,20pm3-PS3-12-1-20pm3-PS3-12-4,2019年11月

    辻 一樹, 徐 嘉楽, 丸山 顕, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,20pm3-PS3-14-1-20pm3-PS3-14-4,2019年11月

    飯島 陽太, 増田 雄介, 田中 勝, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,20pm3-PS3-22-1-20pm3-PS3-22-4,2019年11月

    村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写,第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,21pm1-PS3-13-1-21pm1-PS3-13-4,2019年11月

    矢作 徹, 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 平成30年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」:―― 特集号によせて ――,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),139(5) 87,2019年

    太田 淳, 峯田 貴

    単著

  • センサ・マイクロマシン英文特集号によせて,電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌,139(1) 1,2019年

    峯田 貴

    単著

  • Fabrication and Characterization of an Arrayed Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Device for Planar Tactile Displays (特集 センサ・マイクロマシン英文特集号),電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌,139(1) 15-20,2019年

    Yanatori Hiroshi, Tsuji Kazuki, Abe Konomu, Iwasaki Kenji, Mineta Takashi

    単著

  • 種々サイズの凸構造をもつ周期的なSiマイクロ凹凸表面による触感の評価,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),139(12) 393-399,2019年

    徐 嘉楽, 野々村 美宗, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),139(9) 329-334,2019年

    木村 友翼, 辻 一樹, 梁取 大, 阿部 喜, 岩崎 健二, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),139(11) 383-384,2019年

    岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • Preface to the special issue on “Selected papers in the technical meetings on sensors and micromachines 2018”,IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines,139(5) 87,2019年

    Jun Ohta, Takashi Mineta

    単著

  • MEMS Magnetic Sensor with Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film,ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN,101(3) 90-95,2018年03月

    Okada Naoki, Sasabuchi Takashi, Koike Kunihiro, Mineta Takashi

    単著

  • 可動凹凸撥水デバイス用PDMSダイアフラムへのナノピラーとマッシュルーム構造の形成,機械材料・材料加工技術講演会講演論文集,2018(0) 926,2018年

    村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴

    単著

  • マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価,機械材料・材料加工技術講演会講演論文集,2018(0) 925,2018年

    辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

    単著

  • Fabrication of a Switchable Dual AFM Cantilever through a Large Deflection using Magneto-strictive Film,電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌,138(9) 412-416,2018年

    Hong Jinseo, Mishina Kazuki, Mineta Takashi

    単著

  • Fabrication of a 3D nano-printing device,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,10597 ,2018年

    Jinseo Hong, Yusuke Masuda, Takashi Mineta

    単著

  • SU8微細機構/形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイ型触覚ディスプレイ素子形成と動作特性評価,第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,(01-pm4) PS142-01-PS142-04,2017年11月

    峯田貴, 辻一樹, 梁取大, 日吉健太, 小野泰弘, 阿部喜

    共著(国内のみ)

  • 磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFMカンチレバーの形成,第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,(31am3) PS39-01-PS39-04,2017年10月

    洪振瑞、三品和樹、峯田貴

    共著(国内のみ)

  • ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ,電気学会論文誌E,137(8) 234-238,2017年08月

    岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Tactile Display MEMS Device with SU8 Micro-pin and Spring on SMA Film Actuator Array,19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017),2017年06月

    Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro Ono, Konomu Abe

    共著(海外含む)

  • Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator,Microelectronic Engineering,168 45-49,2017年01月

    Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga Taguchi

    共著(海外含む)

  • エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価,電気学会論文誌E,136(10) 432-436,2016年10月

    徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 形状記憶合金厚膜アクチュエータとSU8ばねを用いたアレイ状超薄型触覚ディスプレイ,第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2016年10月

    梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ,第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2016年10月

    岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価,第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2016年10月

    三井秀之,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価,電気学会論文誌E,136(9) 408-412,2016年09月

    笹渕貴史,岡田尚樹,佐藤翼,小池邦博,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成,電気学会論文誌E,136(7) 312-318,2016年07月

    三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太,佐藤翼, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Formation process of apatite layer on titanium-coated silicon wafer surfaces, J. Ceramic Soc. Jpn,124(6) 753-756,2016年06月

    (18) Haruna Sawaguchi, Jiale Xu, Takahiro Kawai, Takashi Mineta and Yoshimune Nonomura

    共著(海外含む)

  • Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe,Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016),2016年06月

    Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki Mishina, Takayuki Shibata, Takashi Mineta

    共著(海外含む)

  • MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film,Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016),2016年06月

    (17) Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro Koike, Takashi Mineta

    共著(海外含む)

  • A Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Array for Narrow Pitched Planar Tactile Display Device,IEEE-NEMS 2016,2016年04月

    H. Yanatori, T. Mineta, S. Takeuchi, K. Abe

    共著(海外含む)

  • Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool,IEEE-NEMS 2016,2016年04月

    Jinseo Hong, Ikuko Kakizaki, Hideharu Sugo, Takashi Mineta

    単著

  • Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization,IEEE-NEMS 2016,2016年04月

    Jinseo Hong, Ikuko Kakizaki, Hideharu Sugo, Takashi Mineta

    共著(海外含む)

  • Shape memory alloy thick film micro-actuator array for MEMS tactile display device,25th Annual Meet.of MRS-Japan,2015年12月

    H. Yanatori, T. Mineta

    共著(海外含む)

  • Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS Cantilever,25th Annual Meet.of MRS-Japan,2015年12月

    T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike, T. Mineta

    共著(海外含む)

  • Self-Align Fabrication of Narrow-Gapped Dual AFM Tip Using Si Trench Refilling,Trans. Electronics and Communications in Jpn.,98(12) 30-36,2015年12月

    KENTA KAWASHIMA,TAKASHI MINETA,EIJI MAKINO,TAKAHIRO KAWASHIMA,TAKAYUKI SHIBATA

    共著(海外含む)

  • さくらんぼ収穫動作のフォースおよびトルクセンシング,計測自動制御学会東北支部 第297回研究集会,2015年10月

    西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信

    共著(国内のみ)

  • PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化,第7回マイクロナノ工学シンポジウム,2015年10月

    洪振瑞、柿崎育子、須郷秀治、峯田貴

    共著(国内のみ)

  • エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成,電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会,MSS17-006, pp.15-MSS17-006, pp.16,2015年10月

    洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ,電気学会論文誌E,136(10) 454-459,2015年10月

    佐藤諒, 鎌田隆宏,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 高近接シリコン探針とFePd磁歪膜アクチュエータを搭載したデュアルAFMカンチレバー形成と動作特性評価,第6回マイクロナノ工学シンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    峯田 貴, 川島 健太, 田口涼雅

    共著(国内のみ)

  • デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    三浦嘉隆,三品和樹,川島健太,佐藤翼,柴田隆行,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 佐藤翼, 峯田貴

    共著(国内のみ)

  • FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    笹渕貴史,岡田尚樹,佐藤翼,小池邦博,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    佐藤諒, 鎌田隆宏,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 形状記憶合金厚膜アクチュエータを用いた触覚ディスプレイの開発,第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム,プロシーディングス,2015年10月

    梁取大、峯田貴

    共著(国内のみ)

  • 可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価,第31回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2014年10月

    峯田 貴, 小林翔太, 小林 誠也

    共著(国内のみ)

  • 陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ,電気学会論文誌E,134(10) 333-337,2014年10月

    広島 美咲,松永 忠雄,峯田 貴,芳賀洋一

    共著(国内のみ)

  • スマート材料によるMEMSデバイス,化学系学協会東北大会講演予稿集,2014年09月

    峯田貴

    単著

  • Dual AFM probe for imaging and in-situ mechanical operation,IEEE Int. Nano Electronics Conf. (INEC),2014年07月

    (9) T. Mineta

    単著

  • Characterization of Environmental-driven Thermal Buckling Actuator for an Asteroid Exploration Rover,Int. Symp.on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS),2014年06月

    T. Mineta, A. Sugai, R. Kazama, Y. Tsumaki,

    共著(海外含む)

  • SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製,電気学会論文誌E,134(4) 90-95,2014年04月

    川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行

    共著(国内のみ)

  • Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically polishing-back for selective trench sidewalls protection,Trans IEEJ,134(4) 74-78,2014年04月

    Kenta Kawashima, Eji Makino, Takashi Mineta

    共著(海外含む)

  • Biochemical and atomic force microscopy characterization 1 of salmon nasal cartilage proteoglycan,Carbohydrate Polymers,103 538-549,2014年

    (19) Ikuko Kakizaki, Takashi Mineta, Mana Sasaki, Yota Tatara, Eiji Makino, Yoji Kato

    単著

  • SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製,第30回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2013年10月

    川島 健太, 峯田 貴, 牧野 英司, 川島 貴弘, 柴田隆行

    共著(国内のみ)

  • 可変マイクロ凹凸表面をもつ濡れ性可変デバイスの形成,第30回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2013年10月

    峯田 貴, 長澤 崇弘, 柏崎 浩史, 小林 誠也

    共著(国内のみ)

  • 陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ,第30回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2013年10月

    広島 美咲,松永 忠雄,峯田 貴,芳賀洋一

    共著(国内のみ)

  • Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator,39th Int. Conf. on Micro Nano Eng,2013年09月

    K. Kawashima, T. Okazaki, Y. Furuya, E. Makino, T. Mineta,

    共著(海外含む)

  • Novel Approach for Intracellular Delivery of Biomolecules Using Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle,39th Int. Conf. on Micro Nano Eng,2013年09月

    T. Shibata, M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino

    共著(海外含む)

  • Fabrication of deformable PDMS surface for surface wettability control”,39th Int. Conf. on Micro Nano Eng,2013年09月

    T. Mineta, T. Nagasawa, H. Kashiwazaki, S. Kobayashi

    共著(海外含む)

  • 形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成,電気学会論文誌E,133(7) 297-302,2013年07月

    峯田貴, 工藤真也, 牧野英司

    共著(国内のみ)

  • Development of environmental temperature driven buckling actuator for an asteroid exploration rover,3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013),2013年05月

    A. Sugai, Y. Tsumaki, R. Tadakuma, T. Mineta

    共著(海外含む)

  • MEMS sensors and actuators with smart materials,3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013),2013年05月

    T. Mineta

    単著

  • 高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成,第29回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2012年10月

    西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • 形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成,第29回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2012年10月

    峯田貴, 工藤真也, 牧野英司

    共著(国内のみ)

  • トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアルAFM探針の形成,第29回センサマイクロマシンと応用システム,プロシーディングス,2012年10月

    川島健太, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴

    共著(国内のみ)

  • MEMS devices for bio-medical applications,nt. Workshop on Progress of Materials for Smart System,2012年04月

    T. Mineta

    単著

  • Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film,Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications ,2012年04月

    (19) Takashi Mineta, Yusuke Sado, Eiji Makino, Teiko Okazaki and Yasubumi Furuya

    共著(海外含む)

  • Environment-driven rover for asteroid exploration,Int. Symp.on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS),2012年

    Y. Tsumaki, T. Akaike, T. Mineta, R. Tadakuma

    共著(海外含む)

  • Fabrication of cylindrical micro actuator by etching of TiNiCu shape memory alloy tube,Sensors and Actuators A,2011年09月

    (33) Takashi Mineta, Tomoe Deguchi, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

    共著(海外含む)

  • Effects of Microstructure Geometry and Plasma Modification on Wetting Properties of SU-8 Surface,Microelectronic Engineering,88(8) 1775-1778,2011年08月

    (35) Seiya Kobayashi, Eiji Makino, Takashi Mineta, Tomohiro Komatsuzaki

    共著(海外含む)

  • Accurate and Simple Assembly Process of Shape Memory Alloy Tubular Micro Manipulator with a Bias Mechanism,Microelectronic Engineering,88 2683-2686,2011年08月

    (34) Takashi Mineta, Shinya Kudoh, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

    共著(海外含む)

  • Sphincter actuator fabricated with PDMS/SMA bimorph cantilevers,Microelectronic Engineering,88 2662-2665,2011年06月

    E. Makino, T. Mineta, T. Mitsunaga, T. Kawashima, T. Shibata,

    共著(海外含む)

  • 感光性エポキシ樹脂SU-8表面の濡れにおよぼす微細凹凸形状とプラズマ改質の影響,表面技術,62(3) 40-44,2011年03月

    (36) 小林誠也,牧野英司,峯田貴

    共著(国内のみ)

  • Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano- tweezers,J. of Micro/Nano-lithography, MEMS, and MOEMS,9(3) 031004-1-031004-5,2010年09月

    T. Mineta, H. Takeuchi, E. Makino, G. Hashiguchi,

    共著(海外含む)

  • Trapping of Hyaluronic Acid Molecules on Sharp Nano-Electrodes of Various Metals,Microelectronic Engineering,,87(5-8) 738-741,2010年08月

    H. Takeuchi, T. Mineta, E. Makino

    共著(海外含む)

  • Feasibility study on cellular network analysis with patterned cell culture microdevice,Microelectronic Engineering,87(5-8) 704-707,2010年08月

    (5) T. Kawashima, T. Kimura, T. Shibata, A. Kishida, T. Mineta, E. Makino

    共著(海外含む)

  • Micromachining of a newly designed AFM probe integrated with hollow microneedle for cellular function analysis,Microelectronic Engineering ,87(5-8) 1185-1189,2010年08月

    (4) Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, Eiji Makino

    共著(海外含む)

  • Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano-tweezers,Proc. 3th IEEE-Nanomed,2009年10月

    (20) Hiroko Takeuchi, Takashi Mineta, Eiji Makino, Gen Hashiguchi

    共著(海外含む)

  • Fabrication of novel silicon dual AFM tip with narrow gap,J. Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS ,8(2) 021117-1-021117-5,2009年06月

    (16) S. Morita, T. Mineta, E. Makino, A. Umino, T. Kawashima, T. Shibata

    共著(海外含む)

  • Fabrication of micromanipulator array for cell patterning,Microelectronic Engineering,86(4-6) 1439-1442,2009年06月

    (17) Takayuki Shibata, Shinji Yamanaka, Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, Eiji Makino

    共著(海外含む)

  • Heating And Actuation Characteristics of Shape Memory Thin Film Actuator for Blood Vessel Holding,Tech. Dig. of the 14th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transuducers’09),1770-1773,2009年06月

    (24) M. Ozaki, N. Kida, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata

    共著(海外含む)

  • Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator,Microelectronic Engineering,86(4-6) 1274-1277,2009年06月

    (18) Takashi Mineta, Kouji Kasai, Yuki Sasaki, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

    共著(海外含む)

  • Wet Abrasive Blasting Process for Smooth Micromachining of Glass by Ductile-mode Removal,J. Micromechanics and Microengineering,19 015031-1 -015031-8 ,2009年01月

    (19) Takashi Mineta, Takehisa Takada, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

    共著(海外含む)

  • Micromachining of electroformed nickel mold using thick photoresist microstructure for imprint technology,Microsystem Technology,14(9-11) 1359-1365,2008年11月

    (33) Takayuki Shibata, Yoichi Takahashi, Takahiro Kawashima, Toshio Kubota, Mamoru Mita, Takashi Mineta, Eiji Makino

    共著(海外含む)

  • Thermal Type Blood Flow Sensor on Titanium Micro Needle,Sensors and Materials,20(7) 341-349,2008年10月

    akashi Mineta, Yuki Tanahashi, Eiji Makino, Satoshi Toh, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

    共著(海外含む)

  • TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響,表面技術協会誌,59(9) 615-620,2008年09月

    (32) 峯田 貴, 久保 悠, 牧口大輔, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行

    共著(国内のみ)

  • Pulsation Sensor Integrated with Microvascular Holding Actuator for Thrombosis Monitoring,Sensors and Actuators A,143(1) 14-19,2008年05月

    (35) T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata

    共著(海外含む)

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著書

  • バイオ計測のための材料と微細加工,コロナ社,2022年10月

    松永忠雄, 鶴岡典子, 小野寺武, 山口明啓, 池沢聡, 土肥徹次, 神田健介, 岩見健太郎, 峯田貴, 林育菁, 津守不二夫,笠原崇史, 水野潤, 和泉慎太郎, 田畑美幸, 野田和俊, 荒川貴博

  • MEMS materials and Process Handbook,Springer ,2011年06月

    (32) T. Mineta, Y. Haga

  • VR/AR技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例,技術情報協会,2021年06月

    池田篤俊,神田健介,野間春生,寒川雅之、峯田貴 他

  • 熱アクチュエータ 次世代センサハンドブック 基礎編,次世代センサ協議会,2008年07月

    峯田貴

  • 形状記憶合金を用いたソフト・マイクロアクチュエータの開発と医療用マニピュレータへの応用,エヌティーエス,2004年10月

    芳賀洋一, 峯田貴, 江刺正喜

  • Multifunctional Active Catheter,Wiley-VCH,2000年11月

    Y. Haga, T. Mineta, M. Esashi

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総説・解説記事

  • Special Issue on MEMS for Robotics and Mechatronics,JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS,32(2) 279-280,2020年04月

    Esashi Masayoshi, Tanaka Shuji, Aoyagi Seiji, Mineta Takashi, Suzumori Koichi, Dohi Tetsuji, Miki Norihisa

  • 国際会議報告:39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告,一般社団法人 電気学会,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),134(1) NL1_1,2020年

    峯田 貴

  • 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム受賞論文特集号によせて,一般社団法人 電気学会,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),140(7) 150-151,2020年

    鈴木 博章, 峯田 貴

  • 国際会議報告:45th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告,一般社団法人 電気学会,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),140(1) NL1_1,2020年

    峯田 貴

  • MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写,Institute of Electrical Engineers of Japan,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],35 4p,2018年10月

    矢作 徹, 村山 裕紀, 阿部 泰, 村上 穣, 岩松 新之輔, 加藤 睦人, 渡部 善幸, 峯田 貴

  • スマートアクチュエータ材料成膜と微細加工のMEMSへの応用,表面技術,68(57) 375-378,2017年07月

    峯田 貴

  • 国際会議報告:41th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告,一般社団法人 電気学会,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),136(1) NL1_2,2016年01月

    峯田 貴

  • 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発,砥粒加工学会誌,50(5) 245-248,2006年05月

    芳賀洋一、松永忠雄、牧志 渉、戸津健太郎、峯田 貴、江刺正喜

  • 3次元マイクロファブリケーション,砥粒加工学会誌,49(8) 413-416,2005年08月

    牧野英司, 峯田貴, 柴田隆行

  • 電解エッチングによる耐食合金等の微細加工技術,ツールエンジニア,2003年

    峯田貴

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学術関係受賞

  • 電気学会 優秀技術活動賞 グループ著作賞,2023年04月17日,日本国,電気学会,バイオ計測のための材料と微細加工編集委員会

  • 国際会議Transducers17、Outstanding Paper Award Finalist,2017年06月22日,その他,19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017),Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro Ono, Konomu Abe

  • 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 五十嵐賞・奨励賞ファイナリスト(学生の受賞),2022年11月17日,日本国,電気学会センサマイクロマシン部門,天野 晏年

  • 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会 若手優秀講演フェロー賞(学生の受賞),2022年10月08日,日本国,日本機械学会東北支部,佐藤勇人

  • 第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,優秀論文賞Finalist,2020年10月28日,日本国,電気学会センサマイクロマシン部門,Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi, 峯⽥ 貴

  • 第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,奨励賞(学生の受賞),2020年10月28日,日本国,電気学会センサマイクロマシン部門,斎藤涼 (峯田貴は共著で発表、受賞者は発表した大学院生個人),

  • 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 優秀ポスター賞,2016年10月26日,日本国,電気学会センサマイクロマシン部門,梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴

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科研費(文科省・学振)獲得実績

  • 基盤研究(B),2022年04月 ~ 継続中,形状記憶膜/有機半導体ハイブリッド型の高出力フレキシブル触覚ディスプレイ開発

    視指の曲面に装着し、高出力の振動刺激を広域の皮膚を通じて提示する超薄型フレキシブルMEMS触覚ディスプレイ開発に取り組む。大変位と力を発生するSMA膜を用い、垂直振動に加え、せん断方向への多軸の振動を発生する高密度のアクチュエータアレイ(ピッチ1.5mm前後)を開発する。有機半導体ダイオード等の個別通電用素子を形成したフレキシブル配線上にSMA素子を融合し、皮膚が高精細に感知可能な1-30 Hzの周波数域を中心に、文字、面内動作、物体を撫でる感触等の臨場感ある表示の可能性を検証し、また、触覚センサと手触り感の評価からの再現可能性も含め、実用デバイスとしての適用性を検証する。

  • 基盤研究(B),2018年04月 ~ 2022年03月,臨場感を実現する高精細形状記憶厚膜型の装着式触覚ディスプレイ開発

    ロボティクスおよび知能機械システム関連

  • 基盤研究(B),2015年04月 ~ 2018年03月,液中での近接デリバリを可能にする磁歪駆動柄デュアルAFMプローブの開発

    バイオ分野等における分子操作用ツールとして、近接探針をもつMEMS型のデュアルAFMプローブを中空構造化して化学物質を試料近傍へ送り込むデリバリ機能を搭載し、磁歪薄膜アクチュエータによりプローブを切り替えて分子像を高解像AFM観察しつつ、その場で試薬・生体分子をデリバリするデュアルAFMプローブを開発する。

  • 基盤研究(B),2011年04月 ~ 2014年03月,低ノイズ変位機構を搭載したナノ加工・その場計測プローブの開発

    ナノ加工およびその場計測へ応用するために,磁歪薄膜を積層した低ノイズ駆動デュアルマイクロカンチレバーへ近接探針を搭載した近接デュアルAFMプローブを開発する。

  • 基盤研究(B),2023年04月 ~ 2024年03月,超高濃度CNT複合固体電解質による固/固界面電解研磨機構の解明と鏡面加工法の開発

  • 萌芽研究,2011年04月 ~ 2013年03月,軟骨構成分子の分子捕捉および解析用のナノテンプレートチップの開発

    軟骨を構成する主要材料であるプロテオグリカン(PG)を捕捉するために,単分子サイズの基板表面をナノドットパターン状に表面処理し,PG単分子を分散固定化できるナノテンプレートチップを開発する。

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その他競争的資金獲得実績

  • 臨場感を実現する高精細形状記憶厚膜型の装着式触覚ディスプレイ開発,2018年04月 ~ 2021年03月,臨場感を実現する高精細形状記憶厚膜型の装着式触覚ディスプレイ開発

    アクチュエータに用いるSMA膜厚方向の組成均一化と柔軟化を目指し、電子線加熱機構と高真空排気システムを付加したフラッシュ蒸着装置を立ち上げた。また、SMAフラッシュ蒸着各層を超薄膜化したTiNiCuとTiNiCo積層膜への熱処理効果を調べ、700℃での溶体化処理により結晶化が進んで大きな形状回復特性を得られることを見出した。
    拡大ピッチアレイ型に対応したNi膜バイアスばねと厚膜レジストによるマイクロピン構造の一括形成手法を確立し、再試作したSMA厚膜アクチュエータ基板と一体化して振動可能な触覚ディスプレイ素子を実現した。15 Hz以上のパルス通電では感知限界近くまで振幅が半減することがわかり、細長いSMA可動部からフレームへの放熱が律速することを明らかにした。また、研究の過程で新たに、Ni、Al膜を150~400℃の低温域での高速熱処理で塑性変形させて可動構造の初期たわみを調製する手法を考案し、有効性を確認した。
    SMAアクチュエータアレイの各素子へ、簡素な格子状配列の外部配線から接続可能にするために、基板貫通配線(TSV)構造のSi基板へ逆流防止用ダイオードを新たに形成した。さらに、貫通孔をもつ基板上へ厚膜レジストSU-8パターンを均一な膜厚で形成する条件を見出し、SU-8層を介してSMAアクチュエータ基板へ一括接合する手法を確立し、本方式実現の見通しを得た。
    微細凹凸パターンを微細加工した基板表面用い、手指で感じる粗さ感と抵抗感への影響について、触感官能評価と指モデル型力覚センサシステムでの摩擦挙動評価の両面から定量的に解析した。抵抗感には接触面積の効果に加え、数10~100 Hzの振動を伴うスティックスリップ現象が影響することを確認した。また、粉体や人工皮革等の表面で感じる「しっとり感」を発現する典型的な摩擦パターンを明らかにし、触感提示のための指針を得た。

    日本学術振興会

  • 液中での近接デリバリを可能にする磁歪駆動型デュアルAFMプローブの開発,2015年04月 ~ 2018年03月,液中での近接デリバリを可能にする磁歪駆動型デュアルAFMプローブの開発

    観察と他の機能を使い分けるマルチ原子間力顕微鏡(AFM)プローブへの期待は大きく,特にバイオ分野を中心に分子操作用ツールとして大きな期待が寄せられている。本研究は,分子像を高解像AFM観察しつつ,その場で探針を切り替えて試薬・生体分子等を観察試料近傍へデリバリする機能の実現を目的として、サブμmのギャップで近接したデュアル探針をもつ中空構造のデュアルAFMプローブを形成し,カンチレバーを大変位駆動する高品質磁歪薄膜アクチュエータによりプローブを切り替えて使い分けできる機構を開発した。

    日本学術振興会

  • 科学技術振興機構 研究成果最適展開支援プログラムA-step FSステージ,2015年01月 ~ 2015年12月,生体膜の液中操作のための形状記憶厚膜型スマートマイクログリッパの開発

    最デイ医療分野への応用を目指し、培養液などの液中で薄いシート状の生体膜を把持して繊細なハンドリング操作を実現するための、形状記憶合金(SMA)厚膜型の超微細グリッパへ駆動用ヒータ配線,温度センサ等を集積化したスマートグリッパを開発する。

    科学技術振興機構

研究発表

  • 電気学会全国大会 シンポジウム講演,国際会議,2023年03月,名古屋大学,SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発,口頭発表(一般)

  • 第147回表面技術講演大会,国内会議,2023年03月,千葉工大,LiCl 電解質を用いた非水溶媒によるTi 電析の基礎的研究,口頭発表(一般)

  • 第13回マイクロナノ工学シンポジウム,国内会議,2022年11月,徳島,電子顕微鏡観察用の超薄切片試料の自己整合捕捉機能を付加した支持チップの形成および捕捉挙動評価,口頭発表(一般)

  • 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,国内会議,2022年11月,徳島,MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価,ポスター発表

  • 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,国内会議,2022年11月,徳島,UVレーザー直描による高アスペクト比の厚膜円筒リソグラフィ,口頭発表(一般)

  • 第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,国内会議,2022年11月,徳島,フレキシブルMEMS型触覚ディスプレイを目指したSMA厚膜アクチュエータアレイと個別通電のための有機ダイオードの形成,口頭発表(一般)

  • 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会,国内会議,2022年10月,オンライン(鶴岡市),電子顕微鏡観察用の超薄切片捕捉のための表面張力による自己整合型の試料ホルダチップ形成と捕捉挙動評価,口頭発表(一般)

  • 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会,国内会議,2022年10月,オンライン(鶴岡市),MEMS触覚ディスプレイのための厚膜SMA型せん断動作機構の形成と動的特性の評価,口頭発表(一般)

  • 日本機械学会東北支部第58期秋季講演会,国内会議,2022年10月,オンライン(鶴岡市),さくらんぼ収穫時のもぎとり力と把持力計測のための指装着型センシング機構の開発,口頭発表(一般)

  • 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会,国内会議,2022年06月,金沢市,フレキシブルMEMS触覚ディスプレイを⽬指したアレイ状SMA厚膜アクチュエータと個別通電⽤有機ダイオード素⼦の形成,口頭発表(一般)

  • 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会,国内会議,2022年06月,金沢市,レーザー直描による厚膜レジストの⾼アスペクト⽐の円筒リソグラフィ,口頭発表(一般)

  • Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ,国際会議,2022年05月 ~ 2022年06月,オンライン,Characterization of the cooling-fluid-filled arrayed SMA thick film actuator for high power tactile display,口頭発表(一般)

  • Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ,国際会議,2022年05月 ~ 2022年06月,オンライン,Optimally-designed SMA Film Actuator Array for MEMS Tactile Display,口頭発表(一般)

  • Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ,国際会議,2022年05月 ~ 2022年06月,オンライン,Fabrication of Shearing-motion-type Tactile Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators and Coil Springs Array,口頭発表(一般)

  • 第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,国内会議,2021年11月,オンライン(姫路),アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成,口頭発表(一般)

  • 第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,国内会議,2021年11月,オンライン(姫路),触覚ディスプレイ素子のための熱応答を向上したSMAアクチュエータとDRIEとめっきによるTSV基板の形成,口頭発表(一般)

  • 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021,国際会議,2021年10月,オンライン,Fabrication of shearing motion mechanism with SMA-thick-film actuator and coil spring array for tactile display device,口頭発表(一般)

  • 9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021,国際会議,2021年10月,オンライン,Characterization of the cooling-fluid-filled SMA thick actuator array for high power tactile display,口頭発表(一般)

  • 電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会,国内会議,2021年07月,オンライン,アレイ状のSMA 厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイの形成,口頭発表(一般)

  • SmaSys2018,国際会議,2018年10月,Yonezaw, Japan,Fabrication and Characteristics of Shape Memory Alloy Arrayed Thick Film Actuators with Individual-Actuation-Type Tactile Display Device,ポスター発表

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担当授業科目

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学会・委員会等活動

  • 電気学会,第34回センサシンポジウム論文委員会・副委員長,2016年12月 ~ 2017年03月

  • 電気学会,センサマイクロマシン部門・役員,2017年04月 ~ 2020年03月

  • 電気学会,第35回センサシンポジウム 最優秀論文 表彰委員長,2017年12月 ~ 2018年11月

  • 電気学会,第36回センサシンポジウム論文委員会・委員長,2018年12月 ~ 2019年11月

  • 電気学会,第36回センサシンポジウム 五十嵐賞 表彰委員長,2018年12月 ~ 2019年11月

  • 電気学会,代議員,2020年04月 ~ 継続中

  • 国際会議Transducers組織委員会,国際会議Transducer2023組織委員会,2021年06月 ~ 継続中

  • 表面技術,第148回講演大会 実行委員長,2022年09月 ~ 継続中

  • 応用物理学会,東北支部講演会実行委員,2013年04月 ~ 2013年12月

  • 電気学会,センサマイクロマシン部門・役員,2014年04月 ~ 2016年03月

  • 電気学会,第32回センサシンポジウム実行委員,2015年02月 ~ 2015年12月

  • 電気学会,第33回センサシンポジウム論文委員,2015年12月 ~ 2016年12月

  • 電気学会,第34回センサシンポジウム論文委員会・表彰委員長,2016年12月 ~ 2017年03月

  • 電気学会,第35回センサシンポジウム論文委員会・副委員長,2017年12月 ~ 2018年11月

  • 電気学会,E部門総合研究会・実行委員・表彰担当,2018年04月 ~ 2019年03月

  • 日本機械学会,東北支部幹事,2020年04月 ~ 継続中

  • 宇宙科学技術連合,第65回宇宙科学技術連合講演会実行委員,2021年03月 ~ 継続中

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社会貢献活動

  • 医用マイスター養成塾・弘前大学,2008年04月 ~ 2010年03月

    講師

相談に応じられる分野