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日本機械学会

Fabrication of Shearing-Motion-Type Tactile Display Mechanism Using SMA Thick-Film Actuators and Coil Springs Array，IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING，18(7) 1220-1225，2023年07月

Sato, H; Maruyama, A; Saito, R; Mineta, T

単著

Micro-Robotic Medical Tools Employing SMA Actuators for Use in the Human Body，JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS，34(6) 1233-1244，2022年12月

Haga Yoichi, Mineta Takashi, Matsunaga Tadao, Tsuruoka Noriko

単著

バイオミメティクスを指向したMEMS多段フィン微細構造の形成と Ni電鋳マイクロ金型および樹脂への形状転写手法の開発，第38回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，10P3-SSP-58-1-10P3-SSP-58-4，2021年11月

矢作徹, 山田直也, 加藤睦人, 渡部 善幸, 峯田貴

共著（国内のみ）

アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成，第38回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，10A3-SS2-3-1-10A3-SS2-3-4，2021年11月

佐藤勇人, 丸山顕, 齋藤涼, 峯田貴

共著（国内のみ）

Fabrication of Tactile Display Using Arrayed SMA Film Actuator on Silicon TSV Substrate with Individually Conducting Diode，Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)，2021-January 709-711，2021年01月

Ryo Saito, Yusuke Kimura, Jiale Xu, Takashi Mineta

単著

構造色呈色を目指したMEMS微細多段フィン構造を型に用いた樹脂材料への熱インプリント転写と離型特性評価，表面技術，72(3) 170-175，2021年

矢作 徹, 山田 直也, 村山 裕紀, 加藤 睦人, 渡部 善幸, 伊藤 浩志, 峯田 貴

単著

個別通電用Siダイオードを搭載したTSV基板とSMA厚膜アクチュエータを接合したアレイ型触覚ディスプレイの形成，第37回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，26P3-SS1-4-1-26P3-SS1-4-4，2020年10月

斎藤涼，木村 友翼，徐嘉楽，峯田 貴

共著（国内のみ）

円筒面上の厚膜レジストリソグラフィとNi電鋳を用いた能動カテーテルの外骨格型バイアス機構の一括形成，第37回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，26P2-SS1-3-1-26P2-SS1-3-3，2020年10月

(14) Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi, 峯⽥ 貴

共著（国内のみ）

Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process，JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS，59(SI) ，2020年06月

Yahagi T., Murayama H., Watanabe Y., Mineta T.

共著（国内のみ）

Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display，MICROELECTRONIC ENGINEERING，227 ，2020年04月

Xu Jiale, Kimura Yusuke, Tsuji Kazuki, Abe Konomu, Shimizu Tomomi, Hasegawa Hiroyasu, Mineta Takashi

共著（国内のみ）

PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process，JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS，32(2) 289-296，2020年04月

Mitsui Hideyuki, Kashiwazaki Hiroshi, Mineta Takashi

共著（国内のみ）

国際会議報告：45th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），140(1) NL1_1，2020年01月

峯田 貴

単著

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム受賞論文特集号によせて，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），140(7) 150-151，2020年

鈴木 博章, 峯田 貴

単著

個別通電用Siダイオードを搭載したTSV電極Si層とSMA厚膜アクチュエータアレイをもつ触覚ディスプレイの形成，年次大会，2020(0) J13116，2020年

齋藤 涼, 木村 友翼, 徐 嘉楽, 峯田 貴

単著

Special Issue on MEMS for Robotics and Mechatronics，Journal of Robotics and Mechatronics，32(2) 279-280，2020年

Esashi Masayoshi, Tanaka Shuji, Aoyagi Seiji, Mineta Takashi, Suzumori Koichi, Dohi Tetsuji, Miki Norihisa

単著

PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process，Journal of Robotics and Mechatronics，32(2) 289-296，2020年

Mitsui Hideyuki, Kashiwazaki Hiroshi, Mineta Takashi

単著

貫通電極Si基板型とSMA厚膜アクチュエータによる触覚ディスプレイの形成，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，21pm1-PS3-49-1-21pm1-PS3-49-4，2019年11月

木村 友翼, 丸山 顕, 徐 嘉楽, 峯田 貴

共著（国内のみ）

高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成および特性評価，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，19pm5-PS3-26-1-19pm5-PS3-26-4，2019年11月

徐 嘉楽, 木村 友翼, 辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

共著（国内のみ）

触覚ディスプレイ用のNi厚膜バイアスばね/SU-8マイクロ機構の一括形成および剛性評価，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，20pm3-PS3-12-1-20pm3-PS3-12-4，2019年11月

辻 一樹, 徐 嘉楽, 丸山 顕, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

共著（国内のみ）

AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，20pm3-PS3-14-1-20pm3-PS3-14-4，2019年11月

飯島 陽太, 増田 雄介, 田中 勝, 峯田 貴

共著（国内のみ）

PDMSダイアフラム上へのマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，20pm3-PS3-22-1-20pm3-PS3-22-4，2019年11月

村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴

共著（国内のみ）

MEMSプロセスを用いた斜め微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写，第36回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，21pm1-PS3-13-1-21pm1-PS3-13-4，2019年11月

矢作 徹, 村山 裕紀, 渡部 善幸, 峯田 貴

共著（国内のみ）

Fabrication and Characterization of an Arrayed Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Device for Planar Tactile Displays (特集 センサ・マイクロマシン英文特集号)，電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌，139(1) 15-20，2019年

Yanatori Hiroshi, Tsuji Kazuki, Abe Konomu, Iwasaki Kenji, Mineta Takashi

単著

平成30年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」:―― 特集号によせて ――，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），139(5) 87，2019年

太田 淳, 峯田 貴

単著

センサ・マイクロマシン英文特集号によせて，電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌，139(1) 1，2019年

峯田 貴

単著

種々サイズの凸構造をもつ周期的なSiマイクロ凹凸表面による触感の評価，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），139(12) 393-399，2019年

徐 嘉楽, 野々村 美宗, 峯田 貴

共著（国内のみ）

個別動作型の形状記憶合金厚膜アレイ触覚ディスプレイ素子の形成，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），139(9) 329-334，2019年

木村 友翼, 辻 一樹, 梁取 大, 阿部 喜, 岩崎 健二, 峯田 貴

共著（国内のみ）

FePd磁歪膜とPZT圧電膜を搭載した共振型MEMS磁気センサ，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），139(11) 383-384，2019年

岡田 尚樹, 鈴木 広大, 峯田 貴

共著（国内のみ）

Preface to the special issue on “Selected papers in the technical meetings on sensors and micromachines 2018”，IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines，139(5) 87，2019年

Jun Ohta, Takashi Mineta

単著

MEMS Magnetic Sensor with Bridge-Type Resonator and Magnetostrictive Thin Film，ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN，101(3) 90-95，2018年03月

Okada Naoki, Sasabuchi Takashi, Koike Kunihiro, Mineta Takashi

単著

可動凹凸撥水デバイス用PDMSダイアフラムへのナノピラーとマッシュルーム構造の形成，機械材料・材料加工技術講演会講演論文集，2018(0) 926，2018年

村上 雄志, 三井 秀之, 佐藤 翼, 峯田 貴

単著

マイクロピンとフレーム構造を一括形成した触覚ディスプレイ用Ni薄膜平型ばねの作製と剛性評価，機械材料・材料加工技術講演会講演論文集，2018(0) 925，2018年

辻 一樹, 阿部 喜, 清水 智巨, 長谷川 博康, 峯田 貴

単著

Fabrication of a Switchable Dual AFM Cantilever through a Large Deflection using Magneto-strictive Film，電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌，138(9) 412-416，2018年

Hong Jinseo, Mishina Kazuki, Mineta Takashi

単著

Fabrication of a 3D nano-printing device，Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering，10597 ，2018年

Jinseo Hong, Yusuke Masuda, Takashi Mineta

単著

SU8微細機構／形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイ型触覚ディスプレイ素子形成と動作特性評価，第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，(01-pm4) PS142-01-PS142-04，2017年11月

峯田貴, 辻一樹, 梁取大, 日吉健太, 小野泰弘,　阿部喜

共著（国内のみ）

磁歪膜を用いた大変位切替型デュアルAFMカンチレバーの形成，第34回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，(31am3) PS39-01-PS39-04，2017年10月

洪振瑞、三品和樹、峯田貴

共著（国内のみ）

ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ，電気学会論文誌E，137(8) 234-238，2017年08月

岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴

共著（国内のみ）

Tactile Display MEMS Device with SU8 Micro-pin and Spring on SMA Film Actuator Array，19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)，2017年06月

Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro Ono, Konomu Abe

共著（海外含む）

Fabrication and characterization of dual AFM probe with narrow-gapped silicon tips and switchable cantilevers with magneto-strictive FePd film actuator，Microelectronic Engineering，168 45-49，2017年01月

Takashi Mineta, Kenta Kawashima, Ryoga Taguchi

共著（海外含む）

エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価，電気学会論文誌E，136(10) 432-436，2016年10月

徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴

共著（国内のみ）

形状記憶合金厚膜アクチュエータとSU8ばねを用いたアレイ状超薄型触覚ディスプレイ，第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2016年10月

梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴

共著（国内のみ）

ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ，第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2016年10月

岡田尚樹, 笹渕貴史, 小池邦博, 峯田貴

共著（国内のみ）

PDMSを用いた透明な可変マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性の評価，第33回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2016年10月

三井秀之，峯田貴

共著（国内のみ）

FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価，電気学会論文誌E，136(9) 408-412，2016年09月

笹渕貴史，岡田尚樹，佐藤翼，小池邦博，峯田貴

共著（国内のみ）

Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成，電気学会論文誌E，136(7) 312-318，2016年07月

三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太,佐藤翼, 峯田貴

共著（国内のみ）

Formation process of apatite layer on titanium-coated silicon wafer surfaces， J. Ceramic Soc. Jpn，124(6) 753-756，2016年06月

(18) Haruna Sawaguchi, Jiale Xu, Takahiro Kawai, Takashi Mineta and Yoshimune Nonomura

共著（海外含む）

Fabrication of micro-channel and nozzle in narrow-gapped AFM dual Si probe，Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)，2016年06月

Yoshitaka Miura, Jin-seo Hong, Kazuki Mishina, Takayuki Shibata, Takashi Mineta

共著（海外含む）

MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive thin film，Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)，2016年06月

(17) Takashi Sasabuchi, Naoki Okada, Kunihiro Koike, Takashi Mineta

共著（海外含む）

A Shape Memory Alloy Thick Film Actuator Array for Narrow Pitched Planar Tactile Display Device，IEEE-NEMS 2016，2016年04月

H. Yanatori, T. Mineta, S. Takeuchi, K. Abe

共著（海外含む）

Dual-AFM Probes as An Imaging and In-situ Molecular Operation Tool，IEEE-NEMS 2016，2016年04月

Jinseo Hong, Ikuko Kakizaki, Hideharu Sugo, Takashi Mineta

単著

Aminosilane patterning on substrate surface by PDMS soft stamp for proteoglycan molecular immobilization，IEEE-NEMS 2016，2016年04月

Jinseo Hong, Ikuko Kakizaki, Hideharu Sugo, Takashi Mineta

共著（海外含む）

Shape memory alloy thick film micro-actuator array for MEMS tactile display device，25th Annual Meet.of MRS-Japan，2015年12月

H. Yanatori, T. Mineta

共著（海外含む）

Annealing Effect on FePd Magneto-strictive Film on Si MEMS Cantilever，25th Annual Meet.of MRS-Japan，2015年12月

T. Sasabuchi , N. Okada , T. Satoh, K. Koike, T. Mineta

共著（海外含む）

Self-Align Fabrication of Narrow-Gapped Dual AFM Tip Using Si Trench Refilling，Trans. Electronics and Communications in Jpn.，98(12) 30-36，2015年12月

KENTA KAWASHIMA,TAKASHI MINETA,EIJI MAKINO,TAKAHIRO KAWASHIMA,TAKAYUKI SHIBATA

共著（海外含む）

さくらんぼ収穫動作のフォースおよびトルクセンシング，計測自動制御学会東北支部 第297回研究集会，2015年10月

西澤彩花, 峯田貴, 佐藤将吾, 鈴木佑也, 佐々木成海, 妻木勇一, 工藤信

共著（国内のみ）

PDMSソフトスタンプによる基板表面のアミノシラン化パターン形成とプロテオグリカン分子固定化，第7回マイクロナノ工学シンポジウム，2015年10月

洪振瑞、柿崎育子、須郷秀治、峯田貴

共著（国内のみ）

エッチングにより形成したSi表面の微細周期構造による手触り感と摩擦の評価，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

徐嘉楽、野々村美宗、峯田貴

共著（国内のみ）

洪液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成，電気学会センサマイクロマシン部門総合研究会，MSS17-006, pp.15-MSS17-006, pp.16，2015年10月

洪振瑞, 増田雄介, 三浦嘉隆, 柴田隆行, 峯田貴

共著（国内のみ）

生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ，電気学会論文誌E，136(10) 454-459，2015年10月

佐藤諒, 鎌田隆宏,峯田貴

共著（国内のみ）

高近接シリコン探針とFePd磁歪膜アクチュエータを搭載したデュアルAFMカンチレバー形成と動作特性評価，第6回マイクロナノ工学シンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

峯田 貴, 川島 健太, 田口涼雅

共著（国内のみ）

デュアルAFM探針中空化のためのSiカンチレバー流路形成プロセスの開発，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

三浦嘉隆，三品和樹，川島健太，佐藤翼，柴田隆行，峯田貴

共著（国内のみ）

Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

三品和樹, 三浦嘉隆, 川島健太, 佐藤翼, 峯田貴

共著（国内のみ）

FePdスパッタ磁歪膜への熱処理効果のMEMSカンチレバーを用いた評価，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

笹渕貴史，岡田尚樹，佐藤翼，小池邦博，峯田貴

共著（国内のみ）

生体膜操作用の可逆動作機構をもつ形状記憶合金厚膜マイクログリッパ，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

佐藤諒, 鎌田隆宏,峯田貴

共著（国内のみ）

形状記憶合金厚膜アクチュエータを用いた触覚ディスプレイの開発，第32回センサマイクロマシンと応用システムシンポジウム，プロシーディングス，2015年10月

梁取大、峯田貴

共著（国内のみ）

可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価，第31回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2014年10月

峯田 貴, 小林翔太, 小林 誠也

共著（国内のみ）

陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ，電気学会論文誌E，134(10) 333-337，2014年10月

広島 美咲，松永 忠雄，峯田 貴，芳賀洋一

共著（国内のみ）

スマート材料によるMEMSデバイス，化学系学協会東北大会講演予稿集，2014年09月

峯田貴

単著

Dual AFM probe for imaging and in-situ mechanical operation，IEEE Int. Nano Electronics Conf. (INEC)，2014年07月

(9) T. Mineta

単著

Characterization of Environmental-driven Thermal Buckling Actuator for an Asteroid Exploration Rover，Int. Symp.on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS)，2014年06月

T. Mineta, A. Sugai, R. Kazama, Y. Tsumaki,

共著（海外含む）

SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製，電気学会論文誌E，134(4) 90-95，2014年04月

川島　健太, 峯田　貴, 牧野　英司, 川島　貴弘, 柴田隆行

共著（国内のみ）

Fabrication of narrow-gapped dual Si AFM tips by mechanically polishing-back for selective trench sidewalls protection，Trans IEEJ，134(4) 74-78，2014年04月

Kenta Kawashima, Eji Makino, Takashi Mineta

共著（海外含む）

Biochemical and atomic force microscopy characterization 1 of salmon nasal cartilage proteoglycan，Carbohydrate Polymers，103 538-549，2014年

(19) Ikuko Kakizaki, Takashi Mineta, Mana Sasaki, Yota Tatara, Eiji Makino, Yoji Kato

単著

可変マイクロ凹凸表面をもつ濡れ性可変デバイスの形成，第30回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2013年10月

峯田 貴, 長澤 崇弘, 柏崎 浩史, 小林 誠也

共著（国内のみ）

陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ，第30回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2013年10月

広島 美咲，松永 忠雄，峯田 貴，芳賀洋一

共著（国内のみ）

SiトレンチのSOG埋込による近接デュアルAFM探針とNi積層デュアルカンチレバーの作製，第30回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2013年10月

川島　健太, 峯田　貴, 牧野　英司, 川島　貴弘, 柴田隆行

共著（国内のみ）

Fabrication of ultra-narrow-gapped dual AFM tip and silicon dual cantilever with magneto-strictive thin film actuator，39th Int. Conf. on Micro Nano Eng，2013年09月

K. Kawashima, T. Okazaki, Y. Furuya, E. Makino, T. Mineta,

共著（海外含む）

Fabrication of deformable PDMS surface for surface wettability control”，39th Int. Conf. on Micro Nano Eng，2013年09月

T. Mineta, T. Nagasawa, H. Kashiwazaki, S. Kobayashi

共著（海外含む）

Novel Approach for Intracellular Delivery of Biomolecules Using Bioprobe Integrated with Hollow Nanoneedle，39th Int. Conf. on Micro Nano Eng，2013年09月

T. Shibata, M. Banno, Y. Ito, M. Nagai, T. Kawashima, T. Mineta, E. Makino

共著（海外含む）

形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成，電気学会論文誌E，133(7) 297-302，2013年07月

峯田貴, 工藤真也, 牧野英司

共著（国内のみ）

Development of environmental temperature driven buckling actuator for an asteroid exploration rover，3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)，2013年05月

A. Sugai, Y. Tsumaki, R. Tadakuma, T. Mineta

共著（海外含む）

MEMS sensors and actuators with smart materials，3rd Int. Conf. on Asia Arab Sustainable Energy Forum (AASEF 2013)，2013年05月

T. Mineta

単著

高感度磁気センサのための磁歪膜積層型MEMSカンチレバーの形成，第29回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2012年10月

西方孝志, 岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴

共著（国内のみ）

形状記憶合金チューブ型マイクロねじりアクチュエータおよび同軸バイアス機構の形成，第29回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2012年10月

峯田貴, 工藤真也, 牧野英司

共著（国内のみ）

トレンチ埋め込みと表面研磨プロセスによる近接デュアルAFM探針の形成，第29回センサマイクロマシンと応用システム，プロシーディングス，2012年10月

川島健太,　岡崎禎子, 古屋泰文, 牧野英司, 峯田 貴

共著（国内のみ）

MEMS devices for bio-medical applications，nt. Workshop on Progress of Materials for Smart System，2012年04月

T. Mineta

単著

Fabrication and Characterization of Silicon MEMS Cantilever with FePd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Film，Int. Workshop on Piezoelectric Materials and Applications ，2012年04月

(19) Takashi Mineta, Yusuke Sado, Eiji Makino, Teiko Okazaki and Yasubumi Furuya

共著（海外含む）

Environment-driven rover for asteroid exploration，Int. Symp.on Artificial Intelligence, Robotics and Automation in Space (i-SAIRAS)，2012年

Y. Tsumaki, T. Akaike, T. Mineta, R. Tadakuma

共著（海外含む）

Fabrication of cylindrical micro actuator by etching of TiNiCu shape memory alloy tube，Sensors and Actuators A，2011年09月

(33) Takashi Mineta, Tomoe Deguchi, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

共著（海外含む）

Effects of Microstructure Geometry and Plasma Modification on Wetting Properties of SU-8 Surface，Microelectronic Engineering，88(8) 1775-1778，2011年08月

(35) Seiya Kobayashi, Eiji Makino, Takashi Mineta, Tomohiro Komatsuzaki

共著（海外含む）

Accurate and Simple Assembly Process of Shape Memory Alloy Tubular Micro Manipulator with a Bias Mechanism，Microelectronic Engineering，88 2683-2686，2011年08月

(34) Takashi Mineta, Shinya Kudoh, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

共著（海外含む）

Sphincter actuator fabricated with PDMS/SMA bimorph cantilevers，Microelectronic Engineering，88 2662-2665，2011年06月

E. Makino, T. Mineta, T. Mitsunaga, T. Kawashima, T. Shibata,

共著（海外含む）

感光性エポキシ樹脂SU-8表面の濡れにおよぼす微細凹凸形状とプラズマ改質の影響，表面技術，62(3) 40-44，2011年03月

(36) 小林誠也，牧野英司，峯田貴

共著（国内のみ）

Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano- tweezers，J. of Micro/Nano-lithography, MEMS, and MOEMS，9(3) 031004-1-031004-5，2010年09月

T. Mineta, H. Takeuchi, E. Makino, G. Hashiguchi,

共著（海外含む）

Trapping of Hyaluronic Acid Molecules on Sharp Nano-Electrodes of Various Metals，Microelectronic Engineering,，87(5-8) 738-741，2010年08月

H. Takeuchi, T. Mineta, E. Makino

共著（海外含む）

Feasibility study on cellular network analysis with patterned cell culture microdevice，Microelectronic Engineering，87(5-8) 704-707，2010年08月

(5) T. Kawashima, T. Kimura, T. Shibata, A. Kishida, T. Mineta, E. Makino

共著（海外含む）

Micromachining of a newly designed AFM probe integrated with hollow microneedle for cellular function analysis，Microelectronic Engineering ，87(5-8) 1185-1189，2010年08月

(4) Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata, Takashi Mineta, Eiji Makino

共著（海外含む）

Trapping of Hyaluronic Acid Molecule by Metal Coated Silicon Nano-tweezers，Proc. 3th IEEE-Nanomed，2009年10月

(20) Hiroko Takeuchi, Takashi Mineta, Eiji Makino, Gen Hashiguchi

共著（海外含む）

Fabrication of novel silicon dual AFM tip with narrow gap，J. Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS ，8(2) 021117-1-021117-5，2009年06月

(16) S. Morita, T. Mineta, E. Makino, A. Umino, T. Kawashima, T. Shibata

共著（海外含む）

Fabrication of micromanipulator array for cell patterning，Microelectronic Engineering，86(4-6) 1439-1442，2009年06月

(17) Takayuki Shibata, Shinji Yamanaka, Norihisa Kato, Takahiro Kawashima, Mitsuyoshi Nomura, Takashi Mineta, Eiji Makino

共著（海外含む）

Heating And Actuation Characteristics of Shape Memory Thin Film Actuator for Blood Vessel Holding，Tech. Dig. of the 14th Int. Conf. on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems (Transuducers’09)，1770-1773，2009年06月

(24) M. Ozaki, N. Kida, T. Mineta, E. Makino, S. Toh, T. Kawashima, T. Shibata

共著（海外含む）

Flash-Evaporated TiNiCu Thick Film for Shape Memory Alloy Micro Actuator，Microelectronic Engineering，86(4-6) 1274-1277，2009年06月

(18) Takashi Mineta, Kouji Kasai, Yuki Sasaki, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

共著（海外含む）

Wet Abrasive Blasting Process for Smooth Micromachining of Glass by Ductile-mode Removal，J. Micromechanics and Microengineering，19 015031-1 -015031-8 ，2009年01月

(19) Takashi Mineta, Takehisa Takada, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

共著（海外含む）

Micromachining of electroformed nickel mold using thick photoresist microstructure for imprint technology，Microsystem Technology，14(9-11) 1359-1365，2008年11月

(33) Takayuki Shibata, Yoichi Takahashi, Takahiro Kawashima, Toshio Kubota, Mamoru Mita, Takashi Mineta, Eiji Makino

共著（海外含む）

Thermal Type Blood Flow Sensor on Titanium Micro Needle，Sensors and Materials，20(7) 341-349，2008年10月

akashi Mineta, Yuki Tanahashi, Eiji Makino, Satoshi Toh, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

共著（海外含む）

TiNi合金フラッシュ蒸着膜の柔軟性へ及ぼす成膜温度および熱処理の影響，表面技術協会誌，59(9) 615-620，2008年09月

(32) 峯田 貴, 久保　悠, 牧口大輔, 牧野英司, 川島貴弘, 柴田隆行

共著（国内のみ）

Pulsation Sensor Integrated with Microvascular Holding Actuator for Thrombosis Monitoring，Sensors and Actuators A，143(1) 14-19，2008年05月

(35) T. Mineta, N. Kida, S. Nomura, E. Makino, T. Sugawara, S. Toh, T. Shibata

共著（海外含む）

Multifunctional Active Catheter，Wiley-VCH，2000年11月

Y. Haga, T. Mineta, M. Esashi

スマートアクチュエータ材料成膜と微細加工のMEMSへの応用，表面技術，68(57) 375-378，2017年07月

峯田 貴

国際会議報告：41th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告，一般社団法人 電気学会，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），136(1) NL1_2，2016年01月

峯田 貴

精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発，砥粒加工学会誌，50(5) 245-248，2006年05月

芳賀洋一、松永忠雄、牧志 渉、戸津健太郎、峯田 貴、江刺正喜

3次元マイクロファブリケーション，砥粒加工学会誌，49(8) 413-416，2005年08月

牧野英司, 峯田貴, 柴田隆行

電解エッチングによる耐食合金等の微細加工技術，ツールエンジニア，2003年

峯田貴

第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,奨励賞(学生の受賞)，2020年10月28日，日本国，電気学会センサマイクロマシン部門，斎藤涼　（峯田貴は共著で発表、受賞者は発表した大学院生個人），

第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム　優秀ポスター賞，2016年10月26日，日本国，電気学会センサマイクロマシン部門，梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴

基盤研究(B)，2022年04月 ～ 2025年03月，超高濃度CNT複合固体電解質による固／固界面電解研磨機構の解明と鏡面加工法の開発

萌芽研究，2011年04月 ～ 2013年03月，軟骨構成分子の分子捕捉および解析用のナノテンプレートチップの開発

軟骨を構成する主要材料であるプロテオグリカン(PG)を捕捉するために，単分子サイズの基板表面をナノドットパターン状に表面処理し，PG単分子を分散固定化できるナノテンプレートチップを開発する。

第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2024年11月，仙台国際センター，カンチレバー構造へのa-InGaZnO TFTの形成と外部応力の影響評価，ポスター発表

第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2024年11月，仙台国際センター，形状記憶合金厚膜型触覚ディスプレイ用のPDMSバイアスばねの形成および剛性評価，ポスター発表

第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2024年11月，仙台国際センター，3次元微細構造樹脂の変形による反射波長シフトの解析と評価，ポスター発表

精密工学会東北支部講演会，国内会議，2024年11月，山形大学，SU-8ばね層/厚膜SMAアクチュエータ型のせん断振動触覚ディスプレイ形成と触覚提示性能評価，口頭発表（一般）

12th Int. Conf. on Smart Sy. Eng (SmaSys 2024)，国際会議，2024年11月，山形大学，Fabrication of in-plane-deformable SMA thick film actuator array for high output type lateral-vibrational tactile display，ポスター発表

12th Int. Conf. on Smart Sy. Eng (SmaSys 2024)，国際会議，2024年11月，山形大学，Fabrication of micro-gate structure with PDMS deformable micro-diaphragm array and characterization of droplet transportation in wettability change，ポスター発表

12th Int. Conf. on Smart Sy. Eng (SmaSys 2024)，国際会議，2024年11月，山形大学，Fabrication and sensory presentation of MEMS tactile display device with 7×7 SMA thick film actuator array，ポスター発表

12th Int. Conf. on Smart Sy. Eng (SmaSys 2024)，国際会議，2024年11月，山形大学，Fabrication of laterally vibrational tactile display mechanism with SU-8 spring /SMA thick film actuator array and evaluation of dynamic motion，ポスター発表

実験力学会年次講演会，国内会議，2024年09月，山形大学，SU-8 ばね機構/SMA 厚膜アクチュエータ型のせん断振動触覚ディスプレイ形成と特性評価，口頭発表（一般）

実験力学会年次講演会，国内会議，2024年09月，山形大学，PDMS 可変凹凸マイクロダイヤフラム型ゲート構造の形成と液滴の濡れ挙動の評価，口頭発表（一般）

第85回応用物理学会秋季学術講演大会，国内会議，2024年09月，朱鷺メッセ(新潟市），カンチレバー構造a-InGaZnO TFTの応力依存性評価，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2024年07月，明治大学，液滴移動デバイスのためのPDMS可変凹凸マイクロダイヤフラムアレイ型ゲート構造の形成，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2024年07月，明治大学，SMA厚膜アクチュエータアレイ型MEMS触覚ディスプレイの触覚刺激の提示特性評価，口頭発表（一般）

Int. Meeting on Sensors and Microsystems for SDGs (IMSM-SDGs 2024)，国際会議，2024年03月，Tainan，Sensory evaluation of tactile display device with 7x7 SMA thick film actuator array，口頭発表（一般）

日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会 ，国内会議，2024年03月，東北大（オンライン），大屈曲能動カテーテルのための超厚膜レジストの円筒リソグラフィを用いた外骨格機構形成，口頭発表（一般）

日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会 ，国内会議，2024年03月，東北大（オンライン），7×7アレイSMA触覚ディスプレイの刺激提示評価とSi-TSV層との一体形成プロセス，口頭発表（一般）

日本機械学会東北学生会第53回学生員卒業研究発表講演会 ，国内会議，2024年03月，東北大（オンライン），可変凹凸マイクロダイヤフラムのゲート構造を用いた液滴移動デバイスの形成，口頭発表（一般）

第149回表面技術講演大会，国内会議，2024年03月，工学院大学，液滴輸送を目指した微細凹凸パターンへの空気流入による撥水効果の評価，ポスター発表

第149回表面技術講演大会，国内会議，2024年03月，山形大学，液滴輸送を目指した微細凹凸パターンへの空気流入による撥水効果の評価，ポスター発表

電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会，国内会議，2023年12月 ～ 2024年12月，天童市，形状記憶合金シートを用いたMEMS3軸力及び硬さセンサの形成，口頭発表（一般）

電気学会MAG/MSS/BMS合同研究会，国内会議，2023年12月 ～ 2024年12月，天童市，円筒リソグラフィによるチューブ型多軸フォースセンサ機構の形成，口頭発表（一般）

第57回日本生体医工学会東北支部大会，国内会議，2023年11月，山形大学，形状記憶合金シートを用いたMEMS型多軸力および硬さセンサの形成，口頭発表（一般）

第57回日本生体医工学会東北支部大会，国内会議，2023年11月，山形大学，血管内ガイドワイヤのための円筒型多軸フォースセンサ機構部の形成，口頭発表（一般）

第40回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2023年11月，熊本城ホール，血管内ガイドワイヤのための厚膜SU-8の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成，口頭発表（一般）

第40回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2023年11月，熊本城ホール，せん断振動型SMA厚膜アレイ触覚ディスプレイの触覚提示評価とばね機構の一括形成，ポスター発表

第148回表面技術講演大会，国内会議，2023年09月，山形大学，LiCl-メタノール電解液中でのマイクロパターンへのTi 電析，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2023年06月 ～ 2024年07月，豊田工業大学，7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2023年06月 ～ 2024年07月，豊田工業大学，“SMA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2023年06月 ～ 2024年07月，豊田工業大学，葉の表面の濡れ状態を模した微細凹凸構造を有する液滴検出センサに関する研究，口頭発表（一般）

22th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023)，国際会議，2023年06月，Kyoto，igh Output Tactile Display Using SMA Thick Film Actuator Array With Improved Thermal And Frequency Response，ポスター発表

電気学会全国大会 シンポジウム講演，国際会議，2023年03月，名古屋大学，SMA膜を用いたMEMS触覚ディスプレイ素子の開発，口頭発表（一般）

第147回表面技術講演大会，国内会議，2023年03月，千葉工大，LiCl 電解質を用いた非水溶媒によるTi 電析の基礎的研究，口頭発表（一般）

KRIS 2023，国際会議，2023年03月，Adjustment method of MEMS dual-cantilever deflection using plastic deformation of Al and Ni thin film by thermal annealing，口頭発表（一般）

第13回マイクロナノ工学シンポジウム，国内会議，2022年11月，徳島，電子顕微鏡観察用の超薄切片試料の自己整合捕捉機能を付加した支持チップの形成および捕捉挙動評価，口頭発表（一般）

第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2022年11月，徳島，MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価，ポスター発表

第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2022年11月，徳島，UVレーザー直描による高アスペクト比の厚膜円筒リソグラフィ，口頭発表（一般）

第39回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2022年11月，徳島，フレキシブルMEMS型触覚ディスプレイを目指したSMA厚膜アクチュエータアレイと個別通電のための有機ダイオードの形成，口頭発表（一般）

日本機械学会東北支部第58期秋季講演会，国内会議，2022年10月，オンライン（鶴岡市），MEMS触覚ディスプレイのための厚膜SMA型せん断動作機構の形成と動的特性の評価，口頭発表（一般）

日本機械学会東北支部第58期秋季講演会，国内会議，2022年10月，オンライン（鶴岡市），さくらんぼ収穫時のもぎとり力と把持力計測のための指装着型センシング機構の開発，口頭発表（一般）

日本機械学会東北支部第58期秋季講演会，国内会議，2022年10月，オンライン（鶴岡市），電子顕微鏡観察用の超薄切片捕捉のための表面張力による自己整合型の試料ホルダチップ形成と捕捉挙動評価，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2022年06月，金沢市，フレキシブルMEMS触覚ディスプレイを⽬指したアレイ状SMA厚膜アクチュエータと個別通電⽤有機ダイオード素⼦の形成，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2022年06月，金沢市，レーザー直描による厚膜レジストの⾼アスペクト⽐の円筒リソグラフィ，口頭発表（一般）

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ，国際会議，2022年05月 ～ 2022年06月，オンライン，Characterization of the cooling-fluid-filled arrayed SMA thick film actuator for high power tactile display，口頭発表（一般）

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ，国際会議，2022年05月 ～ 2022年06月，オンライン，Optimally-designed SMA Film Actuator Array for MEMS Tactile Display，口頭発表（一般）

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 ，国際会議，2022年05月 ～ 2022年06月，オンライン，Fabrication of Shearing-motion-type Tactile Display Mechanism using SMA Thick-film Actuators and Coil Springs Array，口頭発表（一般）

第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2021年11月，オンライン（姫路），アレイ状のSMA厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイ機構部の形成，口頭発表（一般）

第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム，国内会議，2021年11月，オンライン（姫路），触覚ディスプレイ素子のための熱応答を向上したSMAアクチュエータとDRIEとめっきによるTSV基板の形成，口頭発表（一般）

9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021，国際会議，2021年10月，オンライン，Fabrication of shearing motion mechanism with SMA-thick-film actuator and coil spring array for tactile display device，口頭発表（一般）

9th Int. Conf. on Smart Sys. Eng. 2021，国際会議，2021年10月，オンライン，Characterization of the cooling-fluid-filled SMA thick actuator array for high power tactile display，口頭発表（一般）

電気学会センサ・シクロマシン部門総合研究会，国内会議，2021年07月，オンライン，アレイ状のSMA 厚膜アクチュエータとコイルばねを配置したせん断駆動型触覚ディスプレイの形成，口頭発表（一般）

SmaSys2018，国際会議，2018年10月，Yonezaw, Japan，Fabrication and Characteristics of Shape Memory Alloy Arrayed Thick Film Actuators with Individual-Actuation-Type Tactile Display Device，ポスター発表

2024年度，グローバル機械システム工学特論Ⅰ

2022年度，微細加工

2023年度，機械システム設計及び演習

2023年度，マイクロマシンと微細加工

2023年度，微細加工

2023年度，マイクロ・ナノ工学特論

2022年度，機械工学基礎Ⅱ

2022年度，機械システム設計及び演習

2022年度，マイクロマシンと微細加工

2022年度，微細加工

2022年度，マイクロ・ナノ工学特論

2021年度，機械工学基礎Ⅱ

2021年度，機械システム設計及び演習

2021年度，マイクロマシンと微細加工

2021年度，微細加工

2021年度，運動と力学演習

2021年度，運動と力学

2021年度，マイクロ・ナノ工学特論

2020年度，運動と力学及び演習

2020年度，計測制御特論

2020年度，エンジニアリング創成Ⅱ

2020年度，運動と力学演習

2020年度，運動と力学

2020年度，機械システム設計及び演習

2020年度，マイクロマシンと微細加工

2020年度，微細加工

2019年度，エンジニアリング創成Ⅰ

2019年度，運動と力学及び演習

2020年度，エンジニアリング創成Ⅱ

2019年度，微細加工

2019年度，運動と力学演習

2019年度，運動と力学

2019年度，機械システム設計及び演習

2019年度，マイクロマシンと微細加工

2019年度，機械システム工学特別講義Ⅱ

2019年度，機械システム工学特別講義I

2018年度，運動と力学及び演習

2018年度，マイクロマシンと微細加工

2018年度，計測制御特論

2018年度，微細加工

2018年度，運動と力学

2018年度，運動と力学演習

2018年度，機械システム設計及び演習

2018年度，機械システム工学特別講義Ⅱ

2018年度，機械システム工学特別講義I

2014年度，微細加工

2014年度，機械工学基礎III

2014年度，運動と力学演習

2014年度，卒業研究

2014年度，機械システム設計及び演習

2014年度，運動と力学

2013年度，エンジニアリング創成

2013年度，機械工学基礎III

2013年度，微細加工

2013年度，エンジニアリング創成

2013年度，機械システム設計及び演習

2013年度，機械システム基礎及び実験

2013年度，ゼミナール

2013年度，運動と力学

2013年度，運動と力学演習

電気学会，代議員，2020年04月 ～ 2024年05月

国立大学教育研究評価委員会，専門委員，2020年06月 ～ 2021年03月

国際会議Transducers組織委員会，国際会議Transducer2023組織委員会，2021年06月 ～ 2023年07月

表面技術，第148回講演大会　実行委員長，2022年09月 ～ 2023年10月

応用物理学会，東北支部講演会実行委員，2013年04月 ～ 2013年12月

電気学会，センサマイクロマシン部門・役員，2014年04月 ～ 2016年03月

電気学会，第32回センサシンポジウム実行委員，2015年02月 ～ 2015年12月

電気学会，第33回センサシンポジウム論文委員，2015年12月 ～ 2016年12月

電気学会，第34回センサシンポジウム論文委員会・表彰委員長，2016年12月 ～ 2017年03月

電気学会，第35回センサシンポジウム論文委員会・副委員長，2017年12月 ～ 2018年11月

電気学会，E部門総合研究会・実行委員・表彰担当，2018年04月 ～ 2019年03月

日本機械学会，東北支部幹事，2020年04月 ～ 2021年03月

宇宙科学技術連合，第65回宇宙科学技術連合講演会実行委員，2021年03月 ～ 2022年07月