研究テーマ 【 表示 ／ 非表示 】
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超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどＭＥＭS (Micro Electro Mechanical Systems）デバイス開発に取り組んでいます。血管内で操作するマイクロマニピュレータ等の医療分野への応用や、生体高分子を捕捉して機械的な操作を加えるナノツールなどのバイオ分野への応用に力を入れています。また、これらのデバイス実現に不可欠な、超微細パターン形成、アクチュエータ材料の薄膜・厚膜形成、エッチングによる微細加工など、マイクロ・ナノスケールでの形成プロセス開発に取り組んでいます。
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Fabrication of MEMS mold with inclined micro-multi-fin structure and shape transfer to resin by thermal imprint process，JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS，59 ，2020年06月
Yahagi T., Murayama H., Watanabe Y., Mineta T.
共著（国内のみ）
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Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display，MICROELECTRONIC ENGINEERING，227 ，2020年04月
Xu Jiale, Kimura Yusuke, Tsuji Kazuki, Abe Konomu, Shimizu Tomomi, Hasegawa Hiroyasu, Mineta Takashi
共著（国内のみ）
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PDMS Soft Skin Device with Deformable Micro-Diaphragm Array Fabricated with Rapid Substrate-Releasing Process，JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS，32(2) 289-296，2020年04月
Mitsui Hideyuki, Kashiwazaki Hiroshi, Mineta Takashi
共著（国内のみ）
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平成30年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」:―― 特集号によせて ――，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），139(5) 87，2019年
太田 淳, 峯田 貴
単著
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センサ・マイクロマシン英文特集号によせて，電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌，139(1) 1，2019年
峯田 貴
単著
著書 【 表示 ／ 非表示 】
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MEMS materials and Process Handbook，Springer ，2011年06月
(32) T. Mineta, Y. Haga
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熱アクチュエータ 次世代センサハンドブック 基礎編，次世代センサ協議会，2008年07月
峯田貴
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形状記憶合金を用いたソフト・マイクロアクチュエータの開発と医療用マニピュレータへの応用，エヌティーエス，2004年10月
芳賀洋一, 峯田貴, 江刺正喜
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Multifunctional Active Catheter，Wiley-VCH，2000年11月
Y. Haga, T. Mineta, M. Esashi
総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】
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Special Issue on MEMS for Robotics and Mechatronics，JOURNAL OF ROBOTICS AND MECHATRONICS，32(2) 279-280，2020年04月
Esashi Masayoshi, Tanaka Shuji, Aoyagi Seiji, Mineta Takashi, Suzumori Koichi, Dohi Tetsuji, Miki Norihisa
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国際会議報告：39th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告，一般社団法人 電気学会，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），134(1) NL1_1，2020年
峯田 貴
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第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム受賞論文特集号によせて，一般社団法人 電気学会，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），140(7) 150-151，2020年
鈴木 博章, 峯田 貴
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国際会議報告：45th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2019) 報告，一般社団法人 電気学会，電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌），140(1) NL1_1，2020年
峯田 貴
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スマートアクチュエータ材料成膜と微細加工のMEMSへの応用，表面技術，68(57) 375-378，2017年07月
峯田 貴
学術関係受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,優秀論文賞Finalist，2020年10月28日，日本国，電気学会センサマイクロマシン部門，Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi, 峯⽥ 貴
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第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,奨励賞，2020年10月28日，日本国，電気学会センサマイクロマシン部門，斎藤涼 （峯田貴は共著で発表、受賞者は発表した大学院生個人），
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国際会議Transducers17、Outstanding Paper Award Finalist，2017年06月22日，その他，19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)，Takashi Mineta, Hiroshi Yanatori, Kenta Hiyoshi, Kazuki Tsuji, Yasuhiro Ono, Konomu Abe
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第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 優秀ポスター賞，2016年10月26日，日本国，電気学会センサマイクロマシン部門，梁取大, 阿部喜, 小野泰弘, 峯田貴
科研費（文科省・学振）獲得実績 【 表示 ／ 非表示 】
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基盤研究(B)，2018年04月 ～ 継続中，臨場感を実現する高精細形状記憶厚膜型の装着式触覚ディスプレイ開発
視覚障害のみならず健常者への情報提示ツールとして、分布配置した振動ピン等によって皮膚下の触覚受容器への振動刺激を与
え、記号等のパターン配列提示、振動点の面内での動きの提示、触感の擬似的な提示などを目指す触覚ディスプレイが提案され
ている。本研究は、腕部等に装着して高精細で臨場感ある記号や動画などの表示を行なう振動刺激型の触覚ディスプレイ素子開
発を目指す。独自に開発してきた形状記憶合金(SMA)厚膜型アクチュエータとリソグラフィによる可動ピン構造等による超薄型
触覚ディスプレイ形成の要素技術を発展させ、高出力の振動構造体を狭ピッチ配列した触覚ディスプレイ素子を実現し、フレキ
シブル回路シート上へ実装して実用的な装着型デバイスを目指すものである。記号等の提示、表示面内での動画等の提示性能を
評価し、分散配置による錯覚効果等も併せた実現可能な特性を把握し、装着型の実用デバイスとしての指針を得る。 -
基盤研究(B)，2018年04月 ～ 2021年03月，臨場感を実現する高精細形状記憶厚膜型の装着式触覚ディスプレイ開発
ロボティクスおよび知能機械システム関連
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基盤研究(B)，2015年04月 ～ 2018年03月，液中での近接デリバリを可能にする磁歪駆動柄デュアルAFMプローブの開発
バイオ分野等における分子操作用ツールとして、近接探針をもつMEMS型のデュアルAFMプローブを中空構造化して化学物質を試料近傍へ送り込むデリバリ機能を搭載し、磁歪薄膜アクチュエータによりプローブを切り替えて分子像を高解像AFM観察しつつ、その場で試薬・生体分子をデリバリするデュアルAFMプローブを開発する。
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基盤研究(B)，2011年04月 ～ 2014年03月，低ノイズ変位機構を搭載したナノ加工・その場計測プローブの開発
ナノ加工およびその場計測へ応用するために，磁歪薄膜を積層した低ノイズ駆動デュアルマイクロカンチレバーへ近接探針を搭載した近接デュアルAFMプローブを開発する。
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萌芽研究，2011年04月 ～ 2013年03月，軟骨構成分子の分子捕捉および解析用のナノテンプレートチップの開発
軟骨を構成する主要材料であるプロテオグリカン(PG)を捕捉するために，単分子サイズの基板表面をナノドットパターン状に表面処理し，PG単分子を分散固定化できるナノテンプレートチップを開発する。
その他競争的資金獲得実績 【 表示 ／ 非表示 】
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科学技術振興機構 研究成果最適展開支援プログラムA-step FSステージ，2015年01月 ～ 2015年12月，生体膜の液中操作のための形状記憶厚膜型スマートマイクログリッパの開発
最デイ医療分野への応用を目指し、培養液などの液中で薄いシート状の生体膜を把持して繊細なハンドリング操作を実現するための、形状記憶合金(SMA)厚膜型の超微細グリッパへ駆動用ヒータ配線，温度センサ等を集積化したスマートグリッパを開発する。
科学技術振興機構
担当授業科目 【 表示 ／ 非表示 】
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2020年度，運動と力学及び演習
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2020年度，計測制御特論
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2020年度，機械システム設計及び演習
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2020年度，マイクロマシンと微細加工
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2020年度，微細加工
学会・委員会等活動 【 表示 ／ 非表示 】
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応用物理学会，東北支部講演会実行委員，2013年04月 ～ 2013年12月
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電気学会，センサマイクロマシン部門・役員，2014年04月 ～ 2016年03月
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電気学会，第32回センサシンポジウム実行委員，2015年02月 ～ 2015年12月
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電気学会，第33回センサシンポジウム論文委員，2015年12月 ～ 2016年12月
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電気学会，第34回センサシンポジウム論文委員会・副委員長，2016年12月 ～ 2017年03月
相談に応じられる分野 【 表示 ／ 非表示 】
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マイクロ・ナノ機械デバイスと微細加工プロセスの開発
http://www2.yz.yamagata-u.ac.jp/research/seeds/pdf22_j/8_9mineta.pdf